Di fasiliti pengeluaran semikonduktor, perubahan suhu semasa proses pembakaran atau pengeringan wafer bukan sahaja merupakan halangan, tetapi ia juga boleh mengubah dimensi penting wafer tersebut dan menyebabkan kehilangan hasil pengeluaran. Kami telah mencipta lampu inframerah yang menggunakan bahan molybdenum sebagai sokongan, agar suhu dapat dikekalkan pada tahap yang ditetapkan oleh prosedur pengeluaran. Dengan cara ini, hasil pengeluaran akan menjadi lebih konsisten, tanpa dipengaruhi oleh keadaan persekitaran.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Bahan molybdenum yang digunakan sebagai sokongan memberikan stabilitas suhu yang tinggi, serta pengeluaran gas yang rendah dalam bilik bersih kelas 1–100. Ini memastikan jumlah zarah-zarah di udara tetap stabil. Dengan adanya pemanas inframerah yang disesuaikan dengan baik, suhu permukaan wafer dapat dikawal dengan tepat, dalam lingkungan ±0.1°C. Respons sistem ini sangat cepat, jadi kita dapat mengawal suhu dengan lebih baik semasa proses pembakaran. Prestasi lampu ini kekal stabil selama lebih dari 5,000 jam, dengan perubahan intensiti cahaya kurang dari 5%. Lampu ini sesuai digunakan dalam ketuhar semikonduktor biasa, dengan antaramuka mekanikal yang bersih dan penyesuaian yang boleh diulangi.
Mengapa ia berkesan dalam praktiknya
Dalam proses pengeringan wafer, sinar inframerah membantu mengeluarkan kelembapan dari permukaan wafer secara cepat dan merata. Ini mengelakkan masalah seperti garis-garis pada permukaan wafer akibat ketidakteraturan suhu. Dalam proses pemprosesan fotorezistan pula, suhu yang stabil memastikan proses pembakaran berjalan dengan sempurna, sehingga dimensi penting wafer dapat dikawal dengan baik. Akibatnya, jumlah bahan buangan berkurangan, dan masa yang diperlukan untuk proses pengeluaran menjadi lebih efisien. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana lampu ini dapat mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat dan mengekalkannya tanpa melampaui batas yang ditetapkan.
Butiran yang penting
Pemasangan lampu ini memerlukan penyesuaian optik yang tepat serta profil kuasa yang stabil. Fluktuasi voltan dan reflektor yang tidak sepadan akan menyebabkan hot spot. Lampu ini menghasilkan haba yang tinggi, jadi perlindungan dan mekanisme keselamatan perlu disesuaikan dengan reka bentuk keselamatan alat tersebut. Pelan pengurusan haba juga perlu dirancang dengan baik agar komponen-komponen lain tidak terkena kesan panas. Jika semua butiran ini diurus dengan baik, proses pengeluaran akan berjalan dengan lancar. Lampu ini berfungsi seperti komponen yang tetap dan boleh diulangi penggunaannya dalam proses pengeluaran.