Berhenti membazir masa untuk memanaskan udara: Mengapa penggunaan haba inframerah dalam keadaan vakum adalah penyelesaiannya
Jika anda bekerja dalam bidang pemprosesan semikonduktor, anda pasti tahu betapa pentingnya setiap saat yang digunakan untuk proses pengeluaran. Untuk waktu yang lama, kita bergantung pada sistem pemanasan menggunakan udara panas. Namun, dalam keadaan vakum, cara ini sangat lambat.
Inilah di mana penggunaan haba inframerah dalam keadaan vakum menjadi penyelesaian yang efektif. Daripada cuba memanaskan udara, sinar inframerah akan terus mengenai permukaan wafer secara langsung. Tiada perantara, tiada masa menunggu.
Kos sebenar akibat menunggu
Fikirkan tentang sistem pemanasan udara panas yang lama. Anda perlu memanaskan seluruh bilik sebelum bahan kerja mencapai suhu yang diinginkan. Ini tentunya memperlahankan proses pengeluaran.
Dengan menggunakan haba inframerah, masa menunggu dapat dikurangkan dengan ketara. Proses pemanasan boleh dilakukan dalam masa 30 saat sahaja, berbanding 10 minit sebelumnya. Dalam kilang pengeluaran yang berskala besar, ini bukan sekadar kelebihan kecil – ia merupakan keuntungan yang besar bagi jumlah wafer yang dapat dihasilkan setiap jam.
Cara ia berfungsi
Kita tidak menggunakan mentol biasa untuk pemanasan ini. Pemanas ini direka khusus untuk beroperasi dalam keadaan vakum tanpa menyebabkan bahan berbahaya keluar dari sistem. Kita menggunakan kwarsa berkualiti tinggi dan filamen khas untuk menjaga kebersihan bilik tersebut.
Selain itu, kita juga dapat mengawal proses pemanasan dengan lebih baik. Kita boleh menumpukan haba pada kawasan tertentu pada wafer yang memerlukannya.
Namun, ada satu halangan: ia sangat cepat. Jika tetapan PID tidak betul, suhu boleh melebihi had yang ditetapkan sebelum kita sedar. Oleh itu, kita memerlukan termokopel yang responsif agar suhu dapat dikawal dengan baik.
Kelebihan lain
Salah satu kelebihan utama adalah kita dapat menghilangkan keperluan untuk menggunakan alat pemanas yang besar, saluran udara yang panjang, atau sistem penapisan yang rumit yang digunakan dalam sistem pemanasan udara panas. Kita hanya perlu sambungkan lampu tersebut ke sistem kuasa dan letakkannya dalam bekas reflektif agar tenaga yang dibuang dapat dikembalikan ke bahan kerja.
Dengan cara ini, saiz mesin menjadi lebih kecil, kelajuan proses meningkat, dan kita tidak perlu membayar kos untuk memanaskan udara lagi. Kita hanya perlu membayar kos untuk memproses silikon sahaja.