Di ruang pengeluaran, proses pemanasan bahan fotoresist bukan sekadar langkah suhu biasa. Ia merupakan faktor penting yang mempengaruhi kualiti hasil pengeluaran. Jika suhu pemanasan berubah semasa proses pemanasan, dimensi bahan tersebut akan terjejas, wafer akan rosak, dan proses pengeluaran akan terhenti. Kami telah membina alat pengawal voltan khusus untuk sistem pemanasan inframerah ini, agar variasi suhu dapat dikurangkan. Alat ini dapat mengekalkan suhu yang stabil, walaupun voltan sistem berubah-ubah, sekaligus memastikan parameter termal tetap dalam lingkungan yang ditetapkan.
Apa yang penting dari segi teknikal:
Alat pengawal voltan ini dibina khusus untuk digunakan dalam keadaan bilik bersih. Ia menghasilkan kuasa yang stabil dengan tahap bunyi yang rendah, serta kawalan yang tepat. Hasilnya, suhu di permukaan wafer tetap stabil pada tahap ±0.1°C, sekaligus memastikan kualiti bahan fotoresist tetap konsisten. Alat ini juga tidak menghasilkan zarah-zarah berbahaya, dan bahan-bahannya sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100. Dengan reka bentuk ini, kegagalan yang tidak dijangka dapat dielakkan, dan jangka hayat alat ini boleh mencapai puluhan ribu jam.
Mengapa ia berfungsi dengan baik dalam proses litografi:
Ketika diperlukan haba yang konsisten, alat pengawal voltan ini memastikan output inframerah tetap stabil dari wafer pertama hingga yang terakhir. Ini seterusnya mengurangkan pembaziran bahan dan kerja pembaikan. Proses pengeluaran menjadi lebih efisien kerana suhu dapat dikawal dengan baik. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana sistem ini mengelakkan situasi di mana suhu menjadi terlalu tinggi atau terlalu rendah. Selain itu, jarak masa penyelenggaraan dapat dipanjangkan, dan stok alat ganti dapat dikurangkan, kerana komponen-komponennya direka untuk bertahan lama.
Beberapa nota praktikal:
Pemilihan alat pengawal voltan yang tepat sangat penting. Anda perlu memastikan ia sesuai dengan jenis pemancar inframerah dan kurva beban yang digunakan, agar hasilnya memenuhi standard keseragaman dan kestabilan yang diinginkan. Semasa pemasangan, perlu ada pengurusan haba yang baik serta kabel yang berkualiti tinggi untuk mengelakkan masalah seperti titik panas atau kontaminasi. Pastikan ada masa yang cukup untuk menyesuaikan parameter PID agar sesuai dengan keperluan stesen pemanasan tertentu.