http://ir-heat-extra.com/ms/tags/lembut/ Recent content in Lembut on Extra Performance IR Heating Hugo ms Mon, 08 Jun 2026 05:10:57 +0800 http://ir-heat-extra.com/ms/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Mon, 08 Jun 2026 05:10:57 +0800 http://ir-heat-extra.com/ms/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Lampu pembakar lembut photoresist"></p> <p>On the fab floor, soft bake bukanlah pemanasan awal. Ia menetapkan bajet litografi, titik. Ketidaksamaan suhu muncul sebagai variasi CD, dan pengekalan pelarut kembali sebagai footing, scum, atau kekasaran tepi garis. Biarkan proses bake terhenti, dan anda mempertaruhkan keseluruhan hasil.</p> <p>Ini yang penting dari segi teknikal. Lampu soft bake photoresist kami mengekalkan keseragaman keadaan mantap ±0.1°C merata di seluruh wafer. Bahan-bahannya sesuai untuk bilik bersih Kelas 1–100, dan alat ini tidak menjana partikel langsung. Elemen inframerah gelombang pendek disesuaikan dengan profil penyerapan photoresist, jadi tenaga disalurkan ke filem, bukan substrat. Kebolehulangan adalah ±0.5°C dari satu batch ke batch lain, dan kawalan kenaikan suhu cukup ketat untuk menghormati bajet terma nod lanjutan tanpa melepasi had.</p>