http://ir-heat-extra.com/ms/tags/panel/ Recent content in Panel on Extra Performance IR Heating Hugo ms Thu, 02 Jul 2026 08:57:35 +0800 http://ir-heat-extra.com/ms/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ Thu, 02 Jul 2026 08:57:35 +0800 http://ir-heat-extra.com/ms/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Panel pengeringan wafer berbentuk zon inframerah"></p> <p>Di fasiliti pengeluaran cip, penggunaan nod 5 nm tidak memberikan ruang untuk kesilapan yang boleh berlaku. Perbezaan suhu sebanyak 0.3°C pada permukaan wafer boleh menyebabkan perubahan pada parameter CD, serta meninggalkan sisa bahan kimia selepas proses etching. Bagaimana pula dengan kaedah pengeringan konvensional? Anda tahu bagaimana keadaannya – bahagian tepi wafer masih basah. Kaedah pengeringan menggunakan putaran sahaja akan membazirkan pelarut, dan juga menyebabkan masalah berkaitan partikel halus.</p> <p>Kami telah mencipta panel inframerah yang membolehkan pengawalan suhu yang lebih tepat, terus di tempat wafer keluar daripada <a href="https://o-yate.com">bilik</a> bersih. Inti utama panel ini ialah teknologi inframerah gelombang pendek dengan kawalan zon yang tepat. Setiap zon dapat mengekalkan suhu yang stabil pada tahap ±0.1°C, sehingga seluruh permukaan wafer mendapat suhu yang sama. Panel ini mempunyai bentuk yang ringan, sesuai untuk bilik bersih kelas 1–100. Permukaannya juga cukup sejuk untuk mengurangkan pembentukan partikel halus.</p>