Reflektor aluminium untuk lampu IR

Sat, 06 Jun 2026 04:06:52 +0800

Di lantai pembuatan, pengeringan fotoresist bukanlah langkah termal pilihan—ia adalah garis tipis antara memenuhi spesifikasi lebar garis dan membuang seluruh lot. Jika lampu IR mula mengembara, pengeringan lembut dan pengeringan keras turut terjejas. Pelarut tidak menguap dengan bersih, dan latitud pendedahan runtuh. Di sinilah reflektor aluminium menunjukkan fungsinya: ia mengubah tenaga radiasi mentah menjadi medan termal yang stabil dan boleh diulang di seluruh wafer.

Apa yang penting di bawah permukaan Kami menyelaraskan reflektor untuk penghantaran IR gelombang sederhana, dipadankan dengan sumber halogen atau NIR, untuk mengeluarkan kecekapan spektrum yang tepat dan mengelakkan haba yang terbuang. Geometri diselaraskan untuk mencapai keseragaman pada tahap wafer dalam ±0.1°C, jadi kecerunan suhu tidak boleh mendorong aliran fotoresist dan mengganggu kawalan dimensi kritikal. Permukaan dihasilkan secara mikro untuk mengekalkan reflektans yang stabil selama ribuan jam, menahan kemerosotan yang sebaliknya akan merosakkan profil termal. Pemasangan dibina untuk bilik bersih Kelas 1–100, dengan bahan dan sambungan yang mengekalkan penghasilan zarah pada sifar semasa operasi yang stabil. Mengapa ia berfungsi dalam trek litografi Dalam trek, reflektor mengunci bajet termal untuk pengeringan lembut dan pengeringan keras, jadi kebolehulangan dapat dipastikan dari lot ke lot. Kawalan termal yang lebih ketat mengurangkan isu tepi bead dan meningkatkan keseragaman CD di seluruh wafer—apa yang anda perlukan untuk melindungi hasil. Ia juga memperbaiki kecekapan tenaga, memfokuskan output di tempat yang diperlukan dan mengurangkan pemanasan parasit yang boleh memberi tekanan kepada modul bersebelahan. Hasilnya adalah kurang ayunan lampu, kurang penyelarasan semula, dan prestasi pengeringan yang kekal konsisten dari satu giliran ke giliran seterusnya. Masalah yang akan anda syukuri untuk merancang Pemasangan perlu menghormati jarak lampu ke wafer dan penyelarasan fokus; jika salah, anda akan kehilangan kelebihan ±0.1°C. Reflektor berfungsi dengan perkakasan pemasangan standard, tetapi sahkan antara muka lampu dan envelope kuasa sebelum anda menukarnya. Di kawasan kelembapan tinggi, beri perhatian kepada kitaran termal semasa permulaan untuk mengelakkan pemeluwapan pada permukaan optik yang sejuk. Tetapkan rutin ramp-to-steady yang pendek, dan anda akan mendapatkan kestabilan yang diperlukan oleh pembuatan.

Pemantul on Extra Performance IR Heating

Reflektor aluminium untuk lampu IR