Keramische einddop voor IR emitter

Thu, 04 Jun 2026 03:39:07 +0800

Op de productievloer kent u het wel. Een afwijking van 0,2°C tijdens het bakken van photoresist kan kritische afmetingen buiten specificatie brengen en veel materiaal tot afval maken. Lithografie wordt uitgevoerd met strakke thermische budgetten voor zowel soft bake als hard bake, en die emitterstack moet herhaalbare warmte leveren, cyclus na cyclus, zonder excuses.

Wat er onder de motorkap telt

Onze keramische eindkap voor IR-emitterassemblages is opgebouwd rondom submillimeter thermische veldcontrole. Het keramische lichaam stabiliseert de emitterzone, voorkomt micro-ontladingen en hotspots, terwijl de geometrie zorgt voor een uniforme vermogensverdeling over de wafer. In de praktijk betekent dit ±0,1°C uniformiteit over de bakzone en herhaalbaarheid waar u lot na lot op kunt rekenen. Het past naadloos in standaard halogeen/NIR-emitterlichamen, zodat het spectrale output voorspelbaar blijft en temperatuursinstellingen stabiel zijn voor zowel soft bake als hard bake.

Einde on Extra Performance IR Heating

Keramische einddop voor IR emitter

Wat er onder de motorkap telt