Na linii produkcyjnej przy technologii 5 nm nie ma żadnego marginesu na błędy. Nawet niewielka różnica temperatury na powierzchni płytki w wysokości 0,3°C może wpłynąć na dokładność wymiarów płytki oraz pozostawić resztki materiału fotorezysty po procesie etchingu. A tradycyjne metody suszenia? Wiecie jak to jest – krawędzie płytki nadal pozostają wilgotne. Metody oparte wyłącznie na obracaniu płytki marnują rozpuszczalniki i sprawiają problemy związane z cząstkami stałymi.
Stworzyliśmy panel irygacyjny o zonowanym działaniu, który eliminuje te problemy właśnie w momencie, gdy płytka opuszcza strefę czyszczenia.
Jego rdzeniem jest krótkofalowe światło podczerwone z możliwością regulacji intensywności na poszczególnych obszarach. Każda zonach zapewnia stabilność temperatury na poziomie ±0,1°C, dzięki czemu cała płytka otrzymuje takie samo natężenie ciepła. Panel ma cienką konstrukcję, pasuje do sal czystych klasy 1–100, a jego powierzchnia pozostaje na tyle chłodna, by minimalizować powstawanie cząstek stałych.
W rezultacie uzyskujemy powtarzalne efekty suszenia bez konieczności używania dodatkowych środków do usuwania resztek fotorezystu. Procesy suszenia mogą odbywać się prawidłowo, a resztki materiału można usunąć bez konieczności ponownego ekspozycjonowania płytki.
W praktyce można zredukować czas obróbki oraz poprawić jakość produktu. Czas suszenia się skraca, ponieważ energia oddziałuje bezpośrednio na film, a nie na nośnik. Zużycie energii spada, ponieważ uruchamiają się tylko aktywne zony. Niemożliwe do przewidzenia przerwy w pracy zmniejszają się dzięki projektowi pozwalającemu na ciągłą pracę 24/7 oraz modułom, które można łatwo zastąpić w terenie.
Ostatecznie uzyskujemy jednolite efekty suszenia, mniejsze zużycie rozpuszczalników oraz lepszą kontrolę dokładności wymiarów płytki poprzez proces litografii i etchingu.
Instalacja jest prosta, ale ważna jest geometria komory. Trzeba dostosować rozmiar panelu do specyfikacji urządzenia oraz upewnić się, że istnieją odpowiednie odległości dla elementów sterujących. Panel łączy się z istniejącymi systemami sterowania za pomocą standardowych interfejsów. Dostosowanie ustawień panela do specyfiki procesu to szybki krok, który można wykonać na miejscu. Wystarczy wcześniej określić napięcie i typ złącza, aby uniknąć konieczności ponownej pracy.
Zonowany proces suszenia metodą podczerwieni nie jest rozwiązaniem uniwersalnym dla wszystkich linii produkcyjnych. Najlepiej sprawdza się tam, gdzie głównym ograniczeniem jest brak jednolitości temperatury. Jeśli wasza linia produkcyjna pracuje przy zaawansowanych technologiach, ten panel umożliwi wam kontrolę nad procesem suszenia.