Lampa do miękkiego wypiekania fotorezystu
Na hali produkcyjnej soft bake to nie jest rozgrzewka. To ustalenie budżetu litograficznego, punkt. Niejednorodność temperatury objawia się jako...
Trwały element grzewczy do wypalania fotorezystu
Na podłodze waferu proces wypiekania nie jest przerwą – to blokada procesu. Jeśli jednorodność temperatury w warstwie fotooporu zaczyna się zmieniać,...