http://ir-heat-extra.com/pl/tags/mi%C4%99kki/ Recent content in Miękki on Extra Performance IR Heating Hugo pl Mon, 08 Jun 2026 05:10:57 +0800 http://ir-heat-extra.com/pl/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Mon, 08 Jun 2026 05:10:57 +0800 http://ir-heat-extra.com/pl/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Lampa do miękkiego wypiekania fotorezystu"></p> <p>Na hali produkcyjnej soft bake to nie jest rozgrzewka. To ustalenie budżetu litograficznego, punkt. Niejednorodność temperatury objawia się jako zmienność CD, a zatrzymanie rozpuszczalnika <a href="https://o-yate.com">wraca</a> w postaci footing, scum lub chropowatości krawędzi linii. Jeśli pieczenie się zmienia, ryzykujesz całość procesu.</p> <p>Oto, co ma znaczenie technicznie. Nasza lampa do soft bake fotoopornika utrzymuje ±0.1°C stałą jednorodność w stanie ustalonym na całej powierzchni wafla. Materiały są zgodne z wymaganiami czystości Class 1–100 cleanroom, a urządzenie nie generuje cząstek. Elementy krótkofalowego podczerwieni są dostrojone do profilu absorpcji fotoopornika, więc energia trafia do warstwy, a nie do podłoża. Powtarzalność to ±0.5°C między seriami, a kontrola rampy jest wystarczająco precyzyjna, aby dotrzymać budżetu termicznego zaawansowanych procesów bez przeregulowań.</p>