http://ir-heat-extra.com/pl/tags/ustalone-strefy/ Recent content in Ustalone Strefy on Extra Performance IR Heating Hugo pl Thu, 02 Jul 2026 08:57:35 +0800 http://ir-heat-extra.com/pl/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ Thu, 02 Jul 2026 08:57:35 +0800 http://ir-heat-extra.com/pl/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Panel podczerwieni do suszenia płytek w strefach"></p> <p>Na linii produkcyjnej przy technologii 5 nm nie ma żadnego marginesu na błędy. Nawet niewielka różnica temperatury na powierzchni płytki w wysokości 0,3°C może wpłynąć na dokładność wymiarów płytki oraz pozostawić resztki materiału fotorezysty po procesie etchingu. A tradycyjne metody suszenia? Wiecie jak to jest – krawędzie płytki nadal pozostają wilgotne. Metody <a href="https://o-yate.net">oparte</a> wyłącznie na obracaniu płytki marnują rozpuszczalniki i sprawiają problemy związane z czą<a href="https://o-yate.com">stkami</a> stałymi.</p> <p>Stworzyliśmy panel irygacyjny o zonowanym działaniu, który eliminuje te problemy właśnie w momencie, gdy płytka opuszcza strefę czyszczenia.</p>