Pare de desperdiçar calor com as suas ferramentas para tratamento de wafers
O aquecimento de um wafer de silício exige precisão. Mas, se você já trabalhou com sistemas IR convencionais, sabe bem o problema: o desperdício de calor.
É aquela energia infravermelha irritante que não atinge o wafer e, em vez disso, vai direto para as paredes internas da câmara de vácuo. Em pouco tempo, a superfície externa da máquina fica tão quente que pode queimar alguém. Isso significa que você está apenas desperdiçando energia.
Nós resolvemos esse problema ao controlar com mais precisão para onde o calor é direcionado.
Direcionamento correto do feixe de luz
A maioria das lâmpadas IR emite calor em todas as direções – 360 graus. Isso é muito problemático quando se trata de wafers.
Em vez disso, usamos emissores de ondas curtas IR, combinados com refletores projetados para concentrar o feixe de luz. Pense nisso como trocar uma lâmpada comum por uma lanterna. Assim, a energia é direcionada diretamente à superfície do wafer, sem se dispersar.
O resultado? Uma área de calor concentrada. Como os fótons não conseguem atingir as paredes da máquina, elas permanecem frias.
As dificuldades práticas
Para que isso funcione, usamos lâmpadas de quartzo de alta densidade de potência. Essas lâmpadas são resistentes e conseguem suportar o grande esforço térmico gerado pela saída de energia concentrada. Mas atenção: certifique-se de que seu sistema de alimentação consiga suportar a queda de tensão necessária para essas lâmpadas.
Mas há um problema: os refletores ocupam mais espaço do que uma lâmpada comum. Não dá para colocá-los em um gabinete pequeno sem verificar cuidadosamente as distâncias entre eles. Além disso, é preciso ter precisão na instalação. Se um refletor estiver desalinhado mesmo que alguns milímetros, haverá pontos quentes no wafer, e todo o processo de aquecimento será comprometido.
Manutenção adequada
A melhor vantagem do aquecimento direccional é que não é preciso depender dos ventiladores barulhentos para resfriar a máquina. Isso torna o local de trabalho mais seguro para quem opera a máquina.
Ao conectar essas lâmpadas, verifique se os pontos de contato não estão oxidados. Essas lâmpadas consomem muita corrente. Qualquer resistência nos terminais pode causar danos aos conectores.
E, por favor, mantenha os refletores limpos. Um pouco de poeira no espelho pode atrapalhar o foco e fazer com que todo o calor volte para as paredes da máquina.