Lâmpada de pré cozimento suave do fotoresiste

Mon, 08 Jun 2026 05:10:56 +0800

No chão de fábrica, soft bake não é um aquecimento. Ele define o orçamento de litografia, ponto final. A não uniformidade de temperatura aparece como variação de CD, e a retenção de solvente se manifesta como footing, scum ou line-edge roughness. Deixe o bake oscilar e você estará arriscando tudo.

Aqui está o que importa tecnicamente. A lâmpada de soft bake para fotoresiste mantém uma uniformidade em estado estacionário de ±0,1°C em toda a pastilha. Os materiais são compatíveis com ambientes Classe 1–100 cleanroom, e o equipamento gera zero partículas. Elementos de infravermelho de onda curta são sintonizados ao perfil de absorção do fotoresiste, de modo que a energia é aplicada no filme, não no substrato. A repetibilidade é de ±0,5°C entre lotes, e o controle da rampa é rigoroso o suficiente para respeitar o orçamento térmico de nós avançados sem overshoot.

Macio on Extra Performance IR Heating

Lâmpada de pré cozimento suave do fotoresiste