Как поддерживать чистоту в помещении класса 100
Если вы управляете помещением класса 100, вы уже знаете, с какими трудностями приходится сталкиваться. Один-единственный крошечный частицы пыли в неподходящем месте может привести к тому, что весь батч полупроводниковых пластин станет бесполезным. Это очень стрессово.
Проблема в том, что большинство нагревательных элементов на самом деле загрязнены. Они выделяют газы или частицы именно тогда, когда это совсем не нужно. Поэтому мы используем инфракрасные лампы из высокочистого кварца и провода с тефлоновой изоляцией. Это разумное решение.
Почему мы используем высокочистый кварц
Мы используем синтетический кварц высокой чистоты для изготовления корпуса лампы. Почему? Потому что он не выделяет металлические ионы и не кристаллизуется при повышенной температуре.
Эти лампы излучают коротковолновое инфракрасное излучение. Это и есть секрет их эффективности. Вы можете достичь желаемой температуры почти мгновенно, без нагрева воздуха вокруг детали. Поскольку воздух остается неподвижным, не возникает тех неприятных конвективных токов, которые поднимают пыль и оседают на поверхности деталей.
Почему мы настаиваем на использовании тефлона
Большинство проводов изготовлено из ПВХ или силикона. В условиях высоких температур эти материалы начинают плавиться или выделять газы. Это не очень хорошо.
Мы используем тефлон (ПТФЭ) вместо них. Он выдерживает высокие температуры без проблем и не выделяет микропластик. Он химически инертен, поэтому его можно использовать в вакууме или в чистом помещении, не беспокоясь о загрязнениях.
Некоторые моменты, на которые следует обратить внимание
Высокая интенсивность излучения инфракрасного света делает процесс нагрева очень быстрым. Но это также приводит к сильному нагреву в небольших областях.
Необходимо быть осторожным с крепежными элементами. Убедитесь, что они сделаны из материалов, которые не выделяют газы. Также следите за системой охлаждения. Если область вокруг лампы слишком нагревается, электрические соединения могут сломаться раньше, чем вы этого хотели бы.
Использование в оборудовании
Эти лампы можно использовать в существующих устройствах для обработки полупроводников. Благодаря использованию кварцевого корпуса вместе с тефлоновыми проводами, вся зона нагрева остается стерильной. Вы получаете всю необходимую мощность, но при этом можете забыть о проблемах, связанных с пылью.