На производственных линиях с технологией 5 нм нет никакой возможности для ошибок. Даже незначительное повышение температуры на уровне 0,3°C может привести к изменению параметров формы пластины и оставлению остатков фоторезиста после процедуры этичинга. А что касается традиционных методов сушки… Вы же знаете, как это бывает: края пластины все равно остаются влажными. Методы сушки с использованием вращения лишь тратят растворитель и вызывают проблемы из-за наличия частиц.
Мы разработали инфракрасную панель с зонированным контролем, которая помогает избавиться от таких неопределенностей прямо в момент выхода пластины из процесса очистки.
Суть этой панели заключается в использовании коротковолнового инфракрасного излучения с зонированным контролем. Каждая зона обеспечивает стабильность температуры в пределах ±0,1°C, благодаря чему вся пластина получает одинаковую тепловую нагрузку. Панель имеет тонкую конструкцию, подходит для чистых комнат класса 1–100, а её поверхность остается достаточно холодной, чтобы минимизировать образование частиц.
В результате можно добиться стабильной сушки без риска повреждения фоторезиста. Процессы мягкой и жесткой сушки выполняются без проблем, а остатки фильма с пластин удаляются без необходимости повторного обработки.
На практике это приводит к сокращению времени обработки и повышению производительности. Время сушки сокращается, поскольку энергия воздействует на сам фильм, а не на несущую поверхность. Расход энергии снижается, так как работают только активные зоны. Неplánovanые перерывы в работе сокращаются благодаря дизайну, позволяющему работать круглосуточно, а также благодаря модулям, которые можно заменять на месте.
В итоге получается стабильный процесс сушки, снижается потребление растворителя, а контроль параметров формы пластины улучшается за счет использования технологий литографии и этичинга.
Установка панели проста, но важна геометрия камеры. Необходимо соотнести размеры панели с размерами устройства для фиксации пластины и убедиться в наличии достаточного пространства для действия роботических манипуляторов. Панель может быть интегрирована с существующими системами управления через стандартные интерфейсы. Настройка зон контроля происходит быстро на месте. Достаточно заранее указать напряжение и тип разъема, чтобы избежать необходимости переработки.
Зонированная инфракрасная сушка — это не универсальное решение для всех производственных линий. Она наилучше подходит там, где основным фактором ограничения является тепловая однородность. Если ваша производственная линия работает с высокотехнологичными процессами, эта панель позволит вам контролировать все параметры процесса.