Нагревательный элемент печи LPCVD

Sun, 31 May 2026 04:52:44 +0800

На линии LPCVD-печь работает как сосуд высокого давления, требующий стабильной температуры, строгой равномерности и отсутствия отклонений по частицам. Единственное температурное отклонение во время осаждения поликремния или нитрида проявится в виде неравномерности толщины по всему лоту. Горячая точка может сместить профили фоторезиста в печах отжига, расположенных рядом. Нагревательный элемент печи — это не просто вспомогательное оборудование, а тепловой прибор, определяющий, насколько воспроизводим ваш тепловой бюджет.

Инфракрасный нагрев обеспечивает прямое управление в линии видимости, недоступное обычным излучающим панелям. Мы строим нагревательный элемент LPCVD на основе ламп с коротковолновым инфракрасным излучением (NIR), в сочетании с кварцевой термической архитектурой, что обеспечивает контроль теплового поля с точностью до долей миллиметра. Результат — термический профиль, на который можно рассчитывать из партии в партию.

ЛПХВД on Extra Performance IR Heating

Нагревательный элемент печи LPCVD