http://ir-heat-extra.com/ru/tags/%D0%BC%D1%8F%D0%B3%D0%BA%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Мягкий on Extra Performance IR Heating Hugo ru Mon, 08 Jun 2026 05:10:56 +0800 http://ir-heat-extra.com/ru/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Mon, 08 Jun 2026 05:10:56 +0800 http://ir-heat-extra.com/ru/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Лампа для мягкой сушки фоторезиста"></p> <p>На производственном этаже процесс мягкой сушки не является разогревом. Он задает бюджет литографии, точка. Непостоянство температуры проявляется как изменение CD, а удержание растворителя возвращается в виде основания, налета или неровностей на краях линий. Если позволить сушке отклониться, вы рискуете всей партией.</p> <p>Вот что имеет значение с технической точки зрения. Наша лампа для мягкой сушки фотополимера поддерживает стабильную однородность ±0.1°C по всей пластине. Материалы соответствуют чистым помещениям класса 1–100, и инструмент не генерирует частиц. Элементы коротковолнового инфракрасного излучения настроены на профиль поглощения фотополимера, поэтому энергия идет в пленку, а не в подложку. Повторяемость составляет ±0.5°C от партии к партии, а контроль прогрева достаточно точен, чтобы учитывать тепловой бюджет передовых узлов без превышения.</p>