Отражатель on Extra Performance IR Heating

Инфракрасная лампа с золотым отражателем

Mon, 27 Jul 2026 06:25:54 +0800

Почему мы используем золотые отражатели для обработки полупроводников без свинца
Честно говоря, конвекционные печи уже начинают казаться устаревшими технологиями. В мире полупроводников мы движемся в направлении использования систем с коротковолновым инфракрасным излучением – и это имеет веские причины. Тренд на производство продукции без свинца и экологичные методы производства – это не просто мода, а новый стандарт.

Но есть одна проблема: при переходе на сварку без использования свинца всё становится сложнее. Необходимо учитывать более высокую температуру плавления материалов, а также очень узкий диапазон температур, в котором возможна обработка. Ошибок здесь почти не может быть.

Отражатель для лампы отверждения пластинок

Tue, 14 Jul 2026 10:43:27 +0800

Как предотвратить проблемы на линиях сушки пластинок
На самом деле процесс сушки пластинок сопряжен с серьезными рисками: если лампа выходит из строя, это не просто потеря нескольких минут производства. Если кварцевая трубка взрывается, осколки стекла и залипшие на ее поверхности хлориды падают прямо на пластинки. Это настоящий кошмар – один такой инцидент может привести к тому, что вся партия продукции станет бесполезной.

Чтобы этого избежать, мы используем отражатели. Казалось бы, это просто, но на самом деле отражатели выполняют две функции: они служат физическим барьером и способствуют сосредоточению тепла.

Алюминиевый отражатель для ИК лампы

Sat, 06 Jun 2026 04:06:52 +0800

На производственном этаже выпекание фоторезиста — это не дополнительный термический этап, а тонкая грань между соблюдением спецификаций по ширине линии и браком всей партии. Если ИК-лампа начинает уходить в дрейф, за ней следуют отклонения в мягком и жёстком выпекании. Растворители не улетучиваются полностью, и ширина допуска экспозиции сужается. Вот где алюминиевый отражатель оправдывает своё назначение: он преобразует исходную лучистую энергию в стабильное и повторяемое температурное поле по всей поверхности вафера.

Что важно под капотом
Отражатель настраивается для средневолнового ИК-излучения, согласованного с галогеновыми или ближнеинфракрасными источниками, чтобы обеспечить необходимую спектральную эффективность и исключить потери тепла. Геометрия откалибрована таким образом, чтобы гарантировать равномерность по ваферу в пределах ±0,1°C, чтобы температурные градиенты не провоцировали текучесть фоторезиста и не нарушали контроль критических размеров. Поверхность микрополируется для стабильного отражения в течение тысяч часов, предотвращая деградацию, которая могла бы исказить температурный профиль. Сборка выполнена для чистых помещений класса 1–100, использованы материалы и швы, обеспечивающие нулевое образование частиц в процессе стабильной эксплуатации.