http://ir-heat-extra.com/ru/tags/%D0%BF%D0%B0%D0%BD%D0%B5%D0%BB%D1%8C/ Recent content in Панель on Extra Performance IR Heating Hugo ru Thu, 02 Jul 2026 08:57:34 +0800 http://ir-heat-extra.com/ru/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ Thu, 02 Jul 2026 08:57:34 +0800 http://ir-heat-extra.com/ru/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Инфракрасная панель для сушки вафер в зонированных режимах"></p> <p>На производственных линиях с технологией 5 нм нет никакой возможности для ошибок. Даже незначительное повышение температуры на уровне 0,3°C может привести к изменению параметров формы пластины и оставлению остатков фоторезиста после процедуры этичинга. А что касается традиционных методов сушки… Вы же знаете, как это бывает: края пластины все равно остаются влажными. Методы сушки с использованием вращения лишь тратят растворитель и вызывают проблемы из-за наличия частиц.</p> <p>Мы разработали инфракрасную панель с зонированным контролем, которая помогает избавиться от таких неопределенностей прямо в момент выхода пластины из процесса очистки.</p>