Печь высокой температуры для фаб лаба

Sat, 27 Jun 2026 04:57:25 +0800

На производственной линии параметры температуры играют ключевую роль – контроль температуры не является чем-то, что можно легко настроить; это скорее условие, которое необходимо соблюдать. Изменение температуры на 2°C во время процесса отжига может привести к изменению критических размеров пластинок. Один лишний частиц в камере может разрушить пластинку диаметром 300 мм. Мы создали наши высокотемпературные печи таким образом, чтобы они могли функционировать в условиях таких реалий, а не противостоять им.

Что имеет значение с технической точки зрения
Мы требуем, чтобы температура в рабочей зоне была одинаковой с точностью до ±0,1°C. Также необходимо сохранять эту точность при каждом цикле обработки. В горячей зоне используется кварц и инфракрасные элементы для быстрого и эффективного нагрева с минимальными задержками. Это позволяет точно соблюдать все установленные параметры. Камера спроектирована для использования в условиях чистых помещений класса 1–100; материалы, используемые в камере, имеют низкий уровень выбросов, а поток воздуха обеспечивает минимальное количество частиц. Это гарантирует единообразное удаление растворителей и правильное выплавление полимеров – ни чрезмерного, ни недостаточного отжига.

Нагревательный элемент печи LPCVD

Sun, 31 May 2026 04:52:44 +0800

На линии LPCVD-печь работает как сосуд высокого давления, требующий стабильной температуры, строгой равномерности и отсутствия отклонений по частицам. Единственное температурное отклонение во время осаждения поликремния или нитрида проявится в виде неравномерности толщины по всему лоту. Горячая точка может сместить профили фоторезиста в печах отжига, расположенных рядом. Нагревательный элемент печи — это не просто вспомогательное оборудование, а тепловой прибор, определяющий, насколько воспроизводим ваш тепловой бюджет.

Инфракрасный нагрев обеспечивает прямое управление в линии видимости, недоступное обычным излучающим панелям. Мы строим нагревательный элемент LPCVD на основе ламп с коротковолновым инфракрасным излучением (NIR), в сочетании с кварцевой термической архитектурой, что обеспечивает контроль теплового поля с точностью до долей миллиметра. Результат — термический профиль, на который можно рассчитывать из партии в партию.

Печь on Extra Performance IR Heating

Печь высокой температуры для фаб лаба

Нагревательный элемент печи LPCVD