Сушка on Extra Performance IR Heating

Нагреватель для сушки пластин с датчиками MEMS

Mon, 27 Jul 2026 06:35:40 +0800

Как правильно сушить пластины MEMS (без проблем с загрязнениями)
При сушке датчиков MEMS тепло — это лишь половина решения проблемы. Настоящая борьба идет с частицами грязи.

Если вы работаете в чистой комнате класса 100, вы уже знаете, каковы условия работы: даже небольшое количество газов или кусочек материала с нагревательного элемента могут испортить всю партию пластин. Это очень стрессовый способ работы. Поэтому мы используем инфракрасные лампы из высокочистого синтетического кварца.

Почему кварц так важен
Дешевое стекло или низкокачественный кварц не выдерживают высоких температур. После нескольких циклов нагрева они начинают разрушаться и выделять микроскопические частицы. Это плохо.

Энергетический аудит для сушильных установок

Thu, 23 Jul 2026 11:52:57 +0800

Почему производства полупроводников отказываются от традиционных печей в пользу инфракрасного обеспечения процесса сушки
Если вы когда-либо бывали на производстве полупроводников, вы, наверное, заметили одну вещь: эти большие и громоздкие конвекционные печи постепенно исчезают. Люди предпочитают использовать инфракрасное излучение для сушки. Почему? Потому что нагрев整个 комнаты лишь ради сушки кусочка кремния — это просто расточительство. Инфракрасное излучение направляется прямо на поверхность материала. Именно поэтому сегодня термины «экологичный» или «без свинца» почти всегда связаны с использованием инфракрасного излучения.

Инфракрасная панель для сушки вафер в зонированных режимах

Thu, 02 Jul 2026 08:57:34 +0800

На производственных линиях с технологией 5 нм нет никакой возможности для ошибок. Даже незначительное повышение температуры на уровне 0,3°C может привести к изменению параметров формы пластины и оставлению остатков фоторезиста после процедуры этичинга. А что касается традиционных методов сушки… Вы же знаете, как это бывает: края пластины все равно остаются влажными. Методы сушки с использованием вращения лишь тратят растворитель и вызывают проблемы из-за наличия частиц.

Мы разработали инфракрасную панель с зонированным контролем, которая помогает избавиться от таких неопределенностей прямо в момент выхода пластины из процесса очистки.