Лампа для мягкой сушки фоторезиста
На производственном этаже процесс мягкой сушки не является разогревом. Он задает бюджет литографии, точка. Непостоянство температуры проявляется как...
Нагреватель для запекания стойкого фоторезиста
На цеховом уровне запекание — это не просто пауза, а жёсткое технологическое ограничение. Если в фотолитографии тепловая однородность по слою...