ในโรงงานผลิตชิป การใช้เทคโนโลยีระดับ 5 นาโนเมตรนั้น ไม่มีพื้นที่ให้เกิดความคลาดเคลื่อนได้เลย แม้ว่าจะมีความแตกต่างของอุณหภูมิเพียง 0.3°C เท่านั้น ก็สามารถทำให้ค่า CD เปลี่ยนแปลงได้ และอาจทำให้เหลือสารตกค้างจากการล้างชิปไว้ได้ ส่วนวิธีการอบแห้งแบบปกตินั้น… คุณก็รู้ดีว่ามันยังไม่สามารถทำให้ชิปแห้งสนิทได้ วิธีการอบแห้งด้วยการหมุนชิปนั้นก็เสียสารละลายไปโดยเปล่าประโยชน์ และยังทำให้เกิดอนุภาคต่างๆ อีกด้วย
เราจึงสร้างแผงอินฟราเรดแบบมีการควบคุมโดยเฉพาะขึ้นมา เพื่อขจัดความไม่แน่นอนเหล่านี้ตั้งแต่ชิปออกมาจากกระบวนการล้างที่สะอาด
ส่วนสำคัญของแผงนี้คือการใช้คลื่นอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น โดยมีการควบคุมแต่ละโซนไว้ที่ ±0.1°C เพื่อให้ชิปทั้งชิ้นมีอุณหภูมิเท่ากัน แผงนี้มีขนาดเล็ก สามารถใช้ได้ในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ Class 1–100 และพื้นผิวของแผงก็มีอุณหภูมิต่ำพอที่จะลดการเกิดอนุภาคต่างๆ ได้
สิ่งที่คุณจะได้รับคือการอบแห้งที่สามารถทำซ้ำได้อย่างแม่นยำ โดยไม่ทำให้สารละลายไหลไปที่ส่วนอื่นของชิป นอกจากนี้ ยังสามารถกำจัดสารตกค้างบนชิปได้โดยไม่ต้องนำชิปไปอบซ้ำอีก
ในทางปฏิบัติ คุณจะได้รับประสิทธิภาพที่ดีขึ้น ทั้งในด้านเวลาการอบแห้งและอัตราการผลิต ระยะเวลาการอบแห้งจะลดลง เพราะพลังงานจะถูกส่งไปยังสารที่อยู่บนชิปเท่านั้น การใช้พลังงานก็จะลดลง เพราะมีเพียงโซนที่ใช้งานอยู่เท่านั้นที่มีการใช้พลังงาน นอกจากนี้ การหยุดทำงานโดยไม่คาดคิดก็จะลดลง เพราะมีการออกแบบให้สามารถใช้งานได้ 24/7 และมีโมดูลที่สามารถเปลี่ยนได้ในที่เกิดเหตุ
สุดท้ายแล้ว คุณจะได้ชิปที่มีคุณภาพสม่ำเสมอ มีการใช้สารละลายน้อยลง และมีการควบคุมค่า CD ได้อย่างแม่นยำผ่านกระบวนการลิโธกราฟีและการกัดชิป
การติดตั้งนั้นง่ายมาก แต่สิ่งสำคัญคือรูปร่างของห้องทำงาน ต้องให้ขนาดของแผงสอดคล้องกับขนาดของตัวจับชิป และต้องมั่นใจว่ามีช่องว่างเพียงพอสำหรับอุปกรณ์ที่ใช้ในการจับชิป แผงนี้สามารถเชื่อมต่อกับระบบควบคุมที่มีอยู่ได้ผ่านอินเทอร์เฟซมาตรฐาน และการปรับแต่งโซนการควบคุมก็ทำได้ง่าย แค่ระบุแรงดันไฟฟ้าและประเภทของขั้วต่อไว้ล่วงหน้า ก็จะช่วยให้คุณไม่ต้องมาแก้ไขใหม่อีก
การใช้แผงอินฟราเรดแบบมีการควบคุมโซนนั้นไม่ใช่วิธีที่เหมาะสมสำหรับทุกกระบวนการผลิต แต่เหมาะที่สุดสำหรับกระบวนการที่มีข้อจำกัดด้านความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ หากคุณต้องการเพิ่มอัตราการผลิตในกระบวนการระดับสูง แผงนี้จะช่วยให้คุณสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ