บนพื้นโรงงาน การอบแบบ soft bake ไม่ใช่แค่การอุ่นเครื่อง แต่เป็นการกำหนดงบประมาณสำหรับการทำลิโธกราฟีโดยตรง...

บนพื้นเวเฟอร์ การอบไม่ใช่แค่การหยุดพัก แต่เป็นการล็อกกระบวนการ ถ้าอุณหภูมิไม่สม่ำเสมอทั่วถึงบนชั้น photoresist จะส่งผลถึงความคลาดเคลื่อนของขนาดลาย...