Silikon waferleriniz için boşa enerji harcamayın
Silikon waferlerini ısıtmak tamamen hassasiyet gerektiren bir işlemdir. Eğer standart IR sistemleriyle çalıştıysanız, boşa harcanan enerjinin ne kadar can sıkıcı olduğunu biliyorsunuzdur. Bu rahatsız edici kızılötesi enerji, waferin üzerinden geçip vakum odasının iç duvarlarına çarpar. Bir süre sonra makinenizin dış kısmı o kadar ısınır ki insanları yakabilir hale gelir ve siz de enerjiyi boşa harcamış olursunuz.
Bunu çözmek için, ısının nereye gideceğine daha dikkatli karar veriyoruz.
Işının doğru şekilde yönlendirilmesi
Çoğu IR lambası ısıyı her yöne yayar – tam 360 dereceye. Wafer işlemlerinde bu durum oldukça sorunlu olur. Bunun yerine, ışını daraltmak için kısa dalga boylu IR emitörler kullanıyoruz. Bunu, sıradan bir ampul yerine el feneri kullanmak gibi düşünebilirsiniz. Enerjiyi doğrudan wafer yüzeyine yönlendirerek dağılmasını engelliyoruz.
Sonuç olarak, yoğun ve odaklanmış bir ısı alanı elde edilir. Fotonların şasiye çarpması engellendiği için ekipmanın duvarları soğuk kalır.
Gerçek dünyadaki dezavantajlar
Bunu başarmak için yüksek watt yoğunluğuna sahip kuvars lambalar kullanıyoruz. Bu lambalar çok dayanıklıdır ve yoğun ısıya dayanabilirler. Ancak güç kaynağınızın bu yüksek yoğunluklu lambaların ihtiyaç duyduğu voltaj düşüşlerini karşılayabileceğinden emin olmalısınız.
Ancak burada bir sorun daha var: Yönlendiriciler, sıradan lambalardan daha fazla yer kaplar. Eski ve dar bir kutuya yerleştirmeye çalışırsanız, temas noktalarını dikkatlice kontrol etmelisiniz. Eğer bir yönlendirici birkaç milimetre bile yanlış yerleştirilirse, waferde sıcak noktalar oluşur ve pişirme işlemi bozulur.
İşlevselliğin korunması
Yönlendirici ısıtmanın en iyi yanı, makinenin dışındaki gürültülü soğutma fanlarına ihtiyaç duymamanızdır. Bu sayede makineyi kullanan kişiler için zemin daha güvenli hale gelir.
Bu lambaları bağlarken, temas noktalarında oksidasyon olup olmadığını kontrol edin. Bu lambalar çok fazla akım çeker. Terminaldeki her türlü direnç, konektörlerin yanmasına neden olabilir. Lütfen yönlendiricileri temiz tutun. Aynada biraz toz bile bulunursa ışın odaklanamaz ve tüm ısı tekrar makinenin duvarlarına geri gönderilir.