http://ir-heat-extra.com/tr/tags/mems/ Recent content in MEMS on Extra Performance IR Heating Hugo tr Mon, 27 Jul 2026 06:36:13 +0800 http://ir-heat-extra.com/tr/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ Mon, 27 Jul 2026 06:36:13 +0800 http://ir-heat-extra.com/tr/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="MEMS sensör yongası kurutma ısıtıcısı"></p> <p>MEMS wafer’lerini doğru şekilde kurutmak (kirlenme sorunları olmadan)<br> MEMS sensörlerini kuruturken sıcaklık yalnızca yarı yolda bir faktördür. Asıl mücadele, parçacıklarla mücadeledir.</p> <p>Eğer Class 100 temizlik odasında çalışıyorsanız, durumu zaten biliyorsunuzdur: Biraz olsun gaz çıkışı veya ısıtma elemanlarından kaynaklanan küçük parçacıklar bile tüm wafer’leri işe yaramaz hale getirebilir. Bu oldukça stresli bir durumdur. İşte bu yüzden yüksek saflıkta sentetik kuvars IR lambalarını kullanıyoruz.</p> <p><strong>Kuvarsin önemi neden büyük?</strong><br> Ucuz cam veya düşük kaliteli kuvars, bu tür streslere dayanamaz. Birkaç termal döngüden sonra parçalanmaya başlar ve mikroskobik parçacıklar salgılar. Bu hiç de iyi değildir.</p>