На виробничій лінії процес випалювання відбувається за певними умовами – терморегулювання не є просто параметром, який можна налаштовувати, а є обов’язковою умовою для правильного процесу. Зміна температури на 2°C під час випалювання може змінити критичні розміри чипа, а одна лише частинка в камері може зруйнувати чип розміром 300 мм. Ми створили нашу печ для високотемпературної обробки саме для того, щоб вона могла працювати в таких умовах, а не боротися з ними.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми вимагаємо, щоб температура в процесній зоні була однаковою при значенні ±0,1°C, а повторюваність результатів також мусить бути на цьому рівні, цикл за циклом. У гарячій зоні використовуються кварц та елементи короткочастотного інфрачервоного випромінювання для швидкого та ефективного нагрівання з мінімальними затримками, щоб профіль температури точно відповідав заданому режиму. Камера розроблена для роботи в умовах класу чистоти 1–100; використовуються матеріали з низьким рівнем випаровування, а також система ламінарного потоку, яка зменшує кількість частинок до мінімуму. Це дозволяє забезпечити послідовне видалення розчинників та правильний процес полімеризації – без перевипалювання чи недоварювання.
Чому цей пристрій підходить для щоденної експлуатації
Необхідно, щоб термічні характеристики пристрою не заважали його постійній роботі. Ця піч працює 24/7, згідно з запланованим графіком технічного обслуговування, а не через несподівані зупинки. Кожен процес записується разом із параметрами, що дозволяє контролювати кожен цикл випалювання. Одна і та сама термічна платформа може працювати з чипами різного розміру та в різних конфігураціях, без необхідності повторної налаштування, що скорочує час переходу між процесами та економить енергію. Енергія керується через швидку стабілізацію та низькі втрати під час пауз – це дозволяє досягти точності без втрати енергії.
Що потрібно врахувати з самого початку
Для правильної роботи печі необхідна спеціальна система відведення відпрацьованих газів, а також чистий та сухий подача газу, яка відповідає вимогам пристрою. Піч може працювати разом із стандартними системами автоматизації та форматом SECS/GEM, але для її підключення до вашої системи обробки матеріалів все одно необхідна координація з урахуванням особливостей вашого процесу. Спочатку необхідно перевірити її роботу в умовах вашого процесу випалювання. Як тільки буде досягнута однаковість температури та мінімум частинок, піч буде функціонувати як постійна константа процесу, а не як об’єкт, який постійно змінюється.