На заводі з виробництва чіпів технологія 5 нм не залишає жодних можливостей для похибок під час обробки. Навіть незначна температура у 0,3°C на поверхні пластини може спричинити зміщення параметрів якості та залишити сліди фотополімеру після етчінгу. А що стосується традиційного сушіння? Ви ж знаєте, що краї пластини все одно залишаються вологими. Методи сушіння за допомогою обертання призводять до марновидатку розчинників та створюють проблеми через наявність частинок.
Ми створили інфрачервону панель з розділеною зоною контролю, яка дозволяє усунути ці проблеми саме там, де пластина виходить з процесу очищення.
Сутність цієї панелі полягає у використанні короткохвильового інфрачервоного випромінювання з диференційованим контролем. Кожна зона забезпечує стабільність температури в межах ±0,1°C, тож вся пластина отримує однаковий тепловий режим. Панель має тонку конструкцію, її можна використовувати в чистих приміщеннях класу 1–100. Її поверхня залишається достатньо прохолодною, щоб запобігти утворенню частинок.
Це дозволяє досягти стабільного результату сушіння без необхідності додаткового тиску на фотополімер. Функції м’якого та жорсткого сушіння залишаються недоторканими, а залишки матеріалу на пластині можна легко усунути без необхідності повторної обробки.
На практиці це дозволяє скоротити час обробки та підвищити продуктивність. Час сушіння зменшується, оскільки енергія потрапляє на сам матеріал, а не на носій. Використання енергії також зменшується, оскільки працюють лише активні зони. Непланові перерви у роботі також зменшуються завдяки можливості 24/7 роботи та модулям, які можна замінити на місці.
У результаті ви отримуєте стабільність параметрів якості, меншу кількість використовуваних розчинників та кращий контроль параметрів через процеси літографії та етчінгу.
Встановлення є простим, але важливо правильно підібрати геометрію приміщення. Панель має підходити за розмірами до пристрою для кріплення пластини, а також мають бути забезпечені належні відстані для роботи роботизованих пристроїв. Панель може інтегруватися з існуючими системами керування через стандартні интерфейси. Налаштування зон контролю відбувається швидко без необхідності повторних дій. Достатньо лише вказати напругу та тип з’єднувача заздалегідь, щоб уникнути повторної обробки.
Інфрачервоне сушіння з розділеною зоною контролю не є універсальним рішенням для всіх ліній виробництва. Воно найкраще підходить там, де основною проблемою є нерівномірність температури. Якщо ваша лінія спрямована на підвищення продуктивності на передових технологіях, ця панель дозволяє контролювати параметри якості на належному рівні.