http://ir-heat-extra.com/uk/tags/%D0%B7%D0%BE%D0%BD%D0%BE%D0%B2%D0%B0%D0%BD%D0%BE/ Recent content in Зоновано on Extra Performance IR Heating Hugo uk Thu, 02 Jul 2026 08:57:35 +0800 http://ir-heat-extra.com/uk/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ Thu, 02 Jul 2026 08:57:35 +0800 http://ir-heat-extra.com/uk/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Інфрачервона панель для сушіння вафер у зонованому режимі"></p> <p>На заводі з виробництва чіпів технологія 5 нм не залишає жодних можливостей для похибок під час обробки. Навіть незначна температура у 0,3°C на поверхні пластини може спричинити зміщення параметрів якості та залишити сліди фотополімеру після етчінгу. А що стосується традиційного сушіння? Ви ж знаєте, що краї пластини все одно залишаються вологими. Методи сушіння за допомогою обертання призводять до марновидатку розчинників та створюють проблеми через наявність частинок.</p> <p>Ми створили інфрачервону панель з розділеною зоною контролю, яка дозволяє усунути ці проблеми саме там, де пластина виходить з процесу очищення.</p>