Сушіння on Extra Performance IR Heating

Нагрівач для сушіння пластин датчиків MEMS

Mon, 27 Jul 2026 06:37:19 +0800

Як правильно сушити пластини MEMS (без проблем з забрудненням)
Під час сушіння датчиків MEMS тепло є лише половиною рішення проблеми. Справжня боротьба ведеться з частинками матеріалу.
Якщо ви працюєте у чистій кімнаті класу 100, ви вже знаєте, як це робиться: навіть найменка кількість газів чи частинок матеріалу з нагрівального елемента може зробити всю партію пластин безприданною. Це дуже складний процес. Тож ми використовуємо лампи з високочистим синтетичним кварцем.
Чому саме кварц є важливим
Дешеве скло чи кварц низької якості не витримують таких умов. Після кількох термічних циклів вони починають руйнуватися та виділяти мікроскопічні частинки. Це не дуже добре.
Ми використовуємо високочистий фусований кремнезем – він залишається твердим при екстремальних температурах та не виділяє газів. Ще одна перевага – інфрачервоне випромінювання безпосередньо впливає на вологу на поверхні пластини, що дозволяє швидко позбутися води, не перетворюючи всю камеру на печь.
Деталі конструкції
Ми робимо ці лампи компактними, щоб вони могли поміститися у вашому обладнанні. Корпус лампи герметично закритий, щоб запобігти окисленню нитки – саме там зазвичай починається проблема з забрудненням. Контролюючи процес утворення галогенів у трубці, ми забезпечуємо гладку поверхню нитки та запобігаємо появі тріщин.
Але є одна важлива умова: потужність лампи має відповідати розміру пластини. Звісно, підвищення потужності прискорює процес сушіння. Але це також створює більший тиск на систему охолодження. Якщо перегнути палицю, може виникнути термічне деформування. Все залежить від знаходження оптимального балансу між довжиною та потужністю, щоб тепло рівномірно розподілялося по всій пластині.
Кілька порад щодо установки
Ці лампи можна використовувати як заміну для більшості станцій сушіння MEMS. Ми використали стандартні з’єднувачі, тож вам не доведеться боротися з проводкою.
Ще одна порада: високочистий кварц є крихким. Він любить тепло, але не любить подразнень. Механічний удар під час установки може спричинити мікротріщини, які можна навіть не помітити.
І, будь ласка, використовуйте рукавички без ворсу. Олії з шкіри створюють точки нагріву на склі, що призводить до передчасного руйнування лампи.

Енергетичний аудит для сушарки виробів

Thu, 23 Jul 2026 11:52:57 +0800

Чому підприємства з виробництва напівпровідників відмовляються від звичайних печей на користь інфрачервоних обладнань для висушування
Якщо ви нещодавно були на такому підприємстві, напевно, помітили одну річ: ті великі, громіздкі конвекційні печі починають зникати. Люди все частіше використовують інфрачервоне опромінення для висушування матеріалів. Чому? Тому що нагрівати цілу кімнату лише для того, щоб висушити маленький шматочок кремнію – це марна трата енергії. Інфрачервоне опромінення діє безпосередньо на сам матеріал. Саме тому сучасні технології, які передбачають „екологічність“ чи відсутність свинцю, майже завжди передбачають використання інфрачервоного опромінення.

Інфрачервона панель для сушіння вафер у зонованому режимі

Thu, 02 Jul 2026 08:57:35 +0800

На заводі з виробництва чіпів технологія 5 нм не залишає жодних можливостей для похибок під час обробки. Навіть незначна температура у 0,3°C на поверхні пластини може спричинити зміщення параметрів якості та залишити сліди фотополімеру після етчінгу. А що стосується традиційного сушіння? Ви ж знаєте, що краї пластини все одно залишаються вологими. Методи сушіння за допомогою обертання призводять до марновидатку розчинників та створюють проблеми через наявність частинок.

Ми створили інфрачервону панель з розділеною зоною контролю, яка дозволяє усунути ці проблеми саме там, де пластина виходить з процесу очищення.