http://ir-heat-extra.com/uk/tags/mems/ Recent content in MEMS on Extra Performance IR Heating Hugo uk Mon, 27 Jul 2026 06:37:19 +0800 http://ir-heat-extra.com/uk/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ Mon, 27 Jul 2026 06:37:19 +0800 http://ir-heat-extra.com/uk/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Нагрівач для сушіння пластин датчиків MEMS"></p> <p>Як правильно сушити пластини MEMS (без проблем з забрудненням)<br> Під час сушіння датчиків MEMS тепло є лише половиною рішення проблеми. Справжня боротьба ведеться з частинками матеріалу.<br> Якщо ви працюєте у чистій кімнаті класу 100, ви вже знаєте, як це робиться: навіть найменка кількість газів чи частинок матеріалу з нагрівального елемента може зробити всю партію пластин безприданною. Це дуже складний процес. Тож ми використовуємо лампи з високочистим синтетичним кварцем.<br> <strong>Чому саме кварц є важливим</strong><br> Дешеве скло чи кварц низької якості не витримують таких умов. Після кількох термічних циклів вони починають руйнуватися та виділяти мікроскопічні частинки. Це не дуже добре.<br> Ми використовуємо високочистий фусований кремнезем – він залишається твердим при екстремальних температурах та не виділяє газів. Ще одна перевага – інфрачервоне випромінювання безпосередньо впливає на вологу на поверхні пластини, що дозволяє швидко позбутися води, не перетворюючи всю камеру на печь.<br> <strong>Деталі конструкції</strong><br> Ми робимо ці лампи компактними, щоб вони могли поміститися у вашому обладнанні. Корпус лампи герметично закритий, щоб запобігти окисленню нитки – саме там зазвичай починається проблема з забрудненням. Контролюючи процес утворення галогенів у трубці, ми забезпечуємо гладку поверхню нитки та запобігаємо появі тріщин.<br> Але є одна важлива умова: потужність лампи має відповідати розміру пластини. Звісно, підвищення потужності прискорює процес сушіння. Але це також створює більший тиск на систему охолодження. Якщо перегнути палицю, може виникнути термічне деформування. Все залежить від знаходження оптимального балансу між довжиною та потужністю, щоб тепло рівномірно розподілялося по всій пластині.<br> <strong>Кілька порад щодо установки</strong><br> Ці лампи можна використовувати як заміну для більшості станцій сушіння MEMS. Ми використали стандартні з’єднувачі, тож вам не доведеться боротися з проводкою.<br> Ще одна порада: високочистий кварц є крихким. Він любить тепло, але не любить подразнень. Механічний удар під час установки може спричинити мікротріщини, які можна навіть не помітити.<br> І, будь ласка, використовуйте рукавички без ворсу. Олії з шкіри створюють точки нагріву на склі, що призводить до передчасного руйнування лампи.</p>