http://ir-heat-extra.com/uk/tags/soft/ Recent content in Soft on Extra Performance IR Heating Hugo uk Mon, 08 Jun 2026 05:10:57 +0800 http://ir-heat-extra.com/uk/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Mon, 08 Jun 2026 05:10:57 +0800 http://ir-heat-extra.com/uk/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Лампа для м якого випікання фоторезисту"></p> <p>На виробничій ділянці soft bake — це не розігрів. Він задає бюджет литографії, і крапка. Нерівномірність температури проявляється як варіація CD, а затримка розчинника повертається у вигляді <a href="https://henruite.com">footing</a>, scum або нерівності крайової лінії. Якщо пропустити відхилення bake, ви ризикуєте всією партією.</p> <p>Ось що має значення технічно. Лампа для софт-бейку нашого фотоresistu підтримує ±0.1°C сталу рівномірність по всій пластині. Матеріали сумісні з cleanroom класу 1–100, інструмент не генерує часток. Елементи короткохвильового інфрачервоного діапазону налаштовані під профіль поглинання фоторезисту, тому енергія йде у плівку, а не у підкладку. Повторюваність ±0.5°C від партії до партії, а керування наростанням температури достатньо точне, щоб дотримуватися теплового бюджету передових технологічних норм без перевищень.</p>