فیبریکیشن لیبارٹریوں میں، نرم اور سخت بیکنگ کے عمل سے پروسیس کو کنٹرول کیا جاتا ہے؛ تھرمل کنٹرول کوئی ایسی چیز نہیں جسے آسانی سے تبدیل کیا جاسکے، بلکہ یہ ایک حد ہے جس کے اندر ہی پروسیس چلنا چاہیے۔ ویفر کے درجہ حرارت میں 2°C کی تبدیلی سے اس کی اہم خصوصیات متاثر ہو جاتی ہیں، اور چیمبر میں موجود ایک ہی ذرہ بھی 300 ملی میٹر سائز کے ویفر کو تباہ کر سکتا ہے۔ ہم نے اپنے ہائی-ٹمپریچر فرنز کو ایسے ہی حالات کے لئے ڈیزائن کیا ہے، تاکہ ان حالات سے نمٹا جاسکے، نہ کہ ان سے لڑا جائے۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
ہم پروسیس زون میں درجہ حرارت کی یکسانیت کو ±0.1°C کے درمیان رکھنے کی کوشش کرتے ہیں، اور ہر بار اسی حد کے اندر ہی پروسیس کو جاری رکھتے ہیں۔ ہاٹ زون میں کوارٹز اور شارٹ-ویو انفراریڈ عناصر استعمال کئے جاتے ہیں، تاکہ صاف اور تیز گرمی فراہم کی جاسکے، اور تھرمل تاخیر کو کم کیا جاسکے۔ چیمبر کو کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کے مطابق ڈیزائن کیا گیا ہے، جس سے ذرات کی تخلیق کو صفر کے قریب رکھا جاتا ہے۔ فوٹوریزسٹ بیکنگ کے لئے، اس کا مطلب یہ ہے کہ حل کو یکساں طور پر ختم کیا جائے، اور پولیمر کا بہاؤ بھی یکساں رہے – نہ تو زیادہ بیکنگ، نہ ہی کم بیکنگ۔
روزمرہ کے پروسیس میں اس کی کیا اہمیت ہے؟
آپ کو ایسی تھرمل کارکردگی کی ضرورت ہے جس سے پروسیس میں کوئی رکاوٹ نہ پڑے۔ یہ فرن ز 24/7 کام کرتا ہے، اور اس کی دیکھ بھال بھی منصوبہ بند طریقے سے کی جاتی ہے، تاکہ کوئی غیرمتوقع رکاوٹ پیدا نہ ہو۔ ہر پروسیس کے پیرامیٹرز درج کئے جاتے ہیں، تاکہ ہر بار پروسیس کو دوبارہ دہرایا جاسکے۔ یہی تھرمل پلیٹ فارم مختلف سائز کے ویفروں اور بیچ سیٹنگز کے لئے بھی استعمال کیا جاسکتا ہے، بغیر پورے پروسیس کو دوبارہ ترتیب دینے کی ضرورت کے۔ اس سے ٹائم ویسٹ کم ہوتا ہے، اور تھرمل بجٹ بھی بچتا ہے۔ توانائی کو تیزی سے استعمال کیا جاتا ہے، اور بیک اپ میں کم شدت میں توانائی خرچ ہوتی ہے – یعنی بغیر ضائع ہونے والی گرمی کے۔
تنصیب کے لئے کیا ضروری ہے؟
تنصیب کے لئے الگ سے ایکسہالیشن سسٹم اور صاف، خشک گیس کی فراہمی ضروری ہے، تاکہ یہ فرنز آلے کے انٹرفیس کے معیارات کے مطابق کام کر سکے۔ یہ فرنز معیاری فیبریکیشن آٹومیشن سسٹمز اور SECS/GEM سسٹمز کے ساتھ بھی کام کر سکتے ہیں، لیکن اسے آپ کے موجودہ مٹیریل-ہینڈلنگ سسٹم سے جوڑنے کے لئے اپنے ویفر فلو کے مطابق تفصیلی جانچ ضروری ہے۔ پہلے اسے اپنے فوٹوریزسٹ بیکنگ سسٹم کے ساتھ چیک کریں۔ جب درجہ حرارت کی یکسانیت اور ذرات کی سطح مستحکم ہو جائے، تو یہ فرنز ایک مستقل پروسیس کے طور پر کام کرتا ہے، نہ کہ ایک متحرک ہدف کے طور پر۔