فیبرک فلور پر، ویفر کی جانچ کے دوران آدھے ڈگری کا اختلاف بھی ایسی صورتحال پیدا کر سکتا ہے کہ اچھے معیار کے ویفر بھی بےکار ہو جائیں، اور اس کا احساس بھی نہ ہو۔ جب تھرمل بجٹ محدود ہوتا ہے، اور شیڈول میں کسی قسم کی غلطی کی گنجائش نہیں ہوتی، تو قیاس آرائی کا کوئی فائدہ نہیں ہے۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہم نے سیمی کنڈکٹر ویفر کے لئے پروب ہیٹر کو شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹر کے ساتھ تیار کیا ہے؛ اس کے ساتھ ہی کم تھرمل ماس والے کوارٹز اور سیرامک اجزاء بھی استعمال کئے گئے ہیں۔ اس سے چند سیکنڈوں میں ردِعمل حاصل ہوتا ہے، اور ویفر کے مختلف حصوں میں درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے۔ مختلف باروں میں درجہ حرارت کی استقامت ±0.05°C کے اندر رہتی ہے، لہذا ہیٹنگ عمل میں کوئی تغیر نہیں آتا۔
یہ پلیٹ فارم کلین روم کلاس 1–100 کے ماحول میں کام کرنے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ سطحیں الیکٹروپولیشڈ اور سیل کی گئی ہیں، اور پارٹیکل کاؤنٹرز کے ذریعہ پارٹیکلز کی موجودگی کی جانچ کی جاتی ہے۔ بجلی کی فراہمی ±0.2% کے اندر مستحکم رہتی ہے، چاہے لائن وولٹیج میں کتنا ہی تغیر ہو۔ یہ ہیٹر 24/7 کام کر سکتا ہے، اور ملٹی-شفٹ لائنوں میں کوئی غیرمتوقع وقفہ نہیں آتا۔
عملی طور پر اس کی اہمیت کیا ہے؟
پروب کی جانب سے، مستحکم درجہ حرارت ہی پیرامیٹریک ڈیٹا کو یکساں رکھنے اور کنٹیکٹ الائنمنٹ کو برقرار رکھنے میں مدد کرتا ہے۔ لیتھوگرافی سے متعلق عملوں میں، فوٹوریزسٹ کیمسٹری کسی قسم کی غلطیوں کو برداشت نہیں کرتی؛ یہ ہیٹر ایسی غلطیوں کو دور کرتا ہے، جس سے خرابیاں کم ہوتی ہیں اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت بھی کم ہوتی ہے۔
بہتر تھرمل کنٹرول سے سیٹ اپ بھی بہتر ہوتا ہے۔ کم غلطیوں کی وجہ سے استحکام جلد حاصل ہوتا ہے، بےکار مواد کم ہو جاتا ہے، اور غیرضروری توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے۔ اس کے نتیجے میں متوقع پیداوار حاصل ہوتی ہے، اور مختلف باروں کے درمیان کوئی رکاوٹ نہیں آتی۔
کون سی تفصیلات اسے کامیاب بناتی ہیں؟
انسٹالیشن کے لئے، ٹول کے ایگزاسٹ اور EMI بجٹ کے مطابق ایک خصوصی، فلٹرڈ سپلائی کی ضرورت ہے۔ پروب چک کا انٹرفیس بھی ہمارے تھرمل سسٹم کے مطابق ہونا ضروری ہے، تاکہ یکسانیت حاصل ہو سکے۔
کیلیبریشن کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے، تاکہ ایمیسیویٹی کو کنٹرول کیا جا سکے اور ہاٹ زون کو ویفر کے ساتھ مطابقت دی جا سکے۔ جب یہ مطابقت پیدا ہو جاتی ہے، تو عمل شروع ہو جاتا ہے، اور یہ عمل مسلسل جاری رہتا ہے۔