Đèn nướng mềm photoresist
Trên sàn sản xuất, quá trình nướng mềm không phải là một màn khởi động. Nó xác định ngân sách lithography, không hơn không kém. Sự không đồng nhất về...
Bếp nung photoresist bền chắc
Trên sàn wafer, quá trình bake không phải là một điểm dừng—mà là một khóa tiến trình. Nếu độ đồng đều nhiệt độ bị lệch trên lớp photoresist, bạn sẽ...