Sấy Khô on Extra Performance IR Heating

Máy sấy wafer cảm biến MEMS

Mon, 27 Jul 2026 06:36:34 +0800

Làm thế nào để sấy khô các tấm wafer MEMS một cách hiệu quả (mà không gây ô nhiễm)
Khi sấy khô các cảm biến MEMS, nhiệt độ chỉ là một yếu tố quan trọng thôi. Yếu tố quan trọng nhất chính là việc loại bỏ các hạt bụi có trong môi trường xung quanh.

Nếu bạn làm việc trong phòng sạch loại Class 100, bạn chắc hẳn đã biết rằng một chút khí thoát ra từ vật liệu hoặc một mảnh vụn nhỏ từ bộ phận gia nhiệt cũng có thể khiến toàn bộ lô wafer của bạn trở thành rác thải. Đó là một công việc đầy áp lực. Chính vì vậy, chúng tôi chọn sử dụng các bóng đèn hồng ngoại làm từ thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao.

Kiểm toán năng lượng cho quy trình sấy trong nhà máy

Thu, 23 Jul 2026 11:52:57 +0800

Tại sao các nhà máy sản xuất bán dẫn lại từ bỏ việc sử dụng lò nung thông thường để chuyển sang sử dụng phương pháp khử ẩm bằng tia hồng ngoại?

Nếu bạn từng có cơ hội đến một nhà máy sản xuất bán dẫn gần đây, chắc hẳn bạn đã nhận thấy điều này: những chiếc lò nung kiểu đối lưu cồng kềnh kia đang dần biến mất khỏi các nhà máy. Người ta đang chuyển sang sử dụng phương pháp khử ẩm bằng tia hồng ngoại. Tại sao vậy? Bởi vì việc làm nóng cả một căn phòng chỉ để sấy khô một mảnh silic nhỏ thật là lãng phí năng lượng. Tia hồng ngoại có thể trực tiếp tác động lên vật liệu cần xử lý. Đó chính là lý do tại sao ngày nay các tiêu chuẩn “thân thiện với môi trường” hoặc “không chứa chì” thường yêu cầu sử dụng phương pháp khử ẩm bằng tia hồng ngoại.

Bảng sấy wafer được chia thành các vùng riêng biệt sử dụng tia hồng ngoại để sấy.

Thu, 02 Jul 2026 08:57:34 +0800

Trong môi trường sản xuất chip, kích thước 5 nm không cho phép bất kỳ sai số nào xảy ra. Chỉ cần có sự chênh lệch nhiệt độ 0,3°C trên bề mặt wafer thôi, điều đó cũng có thể làm thay đổi giá trị CD và để lại các tạp chất sau quá trình etch. Còn phương pháp sấy thông thường thì sao? Bạn biết rồi đấy – các cạnh của wafer vẫn còn ẩm. Các phương pháp sấy chỉ dùng lực quay thì sẽ lãng phí dung môi, và còn khiến bạn lo lắng về việc tạo ra các hạt bụi.