http://ir-heat-extra.com/zh/tags/%E5%B9%B2%E7%87%A5/ Recent content in 干燥 on Extra Performance IR Heating Hugo zh Mon, 27 Jul 2026 06:37:41 +0800 http://ir-heat-extra.com/zh/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ Mon, 27 Jul 2026 06:37:41 +0800 http://ir-heat-extra.com/zh/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p>如何正确干燥MEMS晶圆（避免污染问题）<br> 在干燥MEMS传感器时，热量只是其中一半的因素。真正的挑战在于如何防止颗粒物对晶圆的污染。</p> <p>如果你在100级洁净室中工作，那么你就知道，哪怕有极少量的气体释放或加热元件产生的微小碎片，都会导致整批晶圆报废。这种工作环境实在令人<a href="https://goldisgood.com">压力</a>巨大。因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。</p> http://ir-heat-extra.com/zh/posts/energy-audit-for-fab-drying/ Thu, 23 Jul 2026 11:52:57 +0800 http://ir-heat-extra.com/zh/posts/energy-audit-for-fab-drying/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="工厂干燥系统的能源审计"></p> <p><strong><a href="https://henruite.com">为什么半导</a>体工厂正在放弃传统烤箱，转而使用红外固化技术？</strong><br> 如果最近去过半导体工厂，你可能会注意到一个现象：那些体积庞大、结构复杂的对流式烤箱正在逐渐被淘汰。人们开始转向使用红外固化技术。为什么呢？因为为了烘干一小块硅片而加热整个房间，实在是一种浪费。而红外固化技术则可以直接作用于被处理的材料上。正因如此，如今“环保”或“无铅”等要求往往意味着需要使用红外固化技术。</p> http://ir-heat-extra.com/zh/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ Thu, 02 Jul 2026 08:57:35 +0800 http://ir-heat-extra.com/zh/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="分区式晶圆干燥红外面板"></p> <p>在芯片制造车间中，5纳米制程对温度控制的要求极为严格。即使晶圆上仅有0.3℃的温差，也足以导致光刻精度下降，还会在蚀刻后留下残余物。而传统的干燥方式呢？其实效果并不好——晶圆的边缘仍然会有湿气残留。仅依靠旋转来干燥的方法则会浪费溶剂，同时还会因为颗粒问题而令人夜不能寐。</p>