http://ir-heat-extra.com/zh/tags/%E9%9D%A2%E6%9D%BF/ Recent content in 面板 on Extra Performance IR Heating Hugo zh Thu, 02 Jul 2026 08:57:35 +0800 http://ir-heat-extra.com/zh/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ Thu, 02 Jul 2026 08:57:35 +0800 http://ir-heat-extra.com/zh/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="分区式晶圆干燥红外面板"></p> <p>在芯片制造车间中，5纳米制程对温度控制的要求极为严格。即使晶圆上仅有0.3℃的温差，也足以导致光刻精度下降，还会在蚀刻后留下残余物。而传统的干燥方式呢？其实效果并不好——晶圆的边缘仍然会有湿气残留。仅依靠旋转来干燥的方法则会浪费溶剂，同时还会因为颗粒问题而令人夜不能寐。</p>