http://ir-heat-extra.com/zh/tags/mems/ Recent content in MEMS on Extra Performance IR Heating Hugo zh Mon, 27 Jul 2026 06:37:41 +0800 http://ir-heat-extra.com/zh/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ Mon, 27 Jul 2026 06:37:41 +0800 http://ir-heat-extra.com/zh/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p>如何正确干燥MEMS晶圆（避免污染问题）<br> 在干燥MEMS传感器时，热量只是其中一半的因素。真正的挑战在于如何防止颗粒物对晶圆的污染。</p> <p>如果你在100级洁净室中工作，那么你就知道，哪怕有极少量的气体释放或加热元件产生的微小碎片，都会导致整批晶圆报废。这种工作环境实在令人<a href="https://goldisgood.com">压力</a>巨大。因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。</p>