ফ্যাব ফ্লোরে, আপনি তো জানেনই প্রক্রিয়াটি কী। ফটোরেসিস্ট বেক করার সময় ১°C এর মতো তাপমাত্রা পরিবর্তনই যথেষ্ট; এর ফলে উপাদানগুলোর আকার পরিবর্তিত হয়ে যায়, এবং অনেক ওয়েফার নষ্ট হয়ে যায়। আমরা এই অনিশ্চয়তাগুলো দূর করার জন্য নিজস্ব ইনফ্রারেড হিটিং ল্যাম্প তৈরি করেছি।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা কোয়ার্টজ আবরণযুক্ত শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ব্যবহার করি; ফলে তাপটি সরাসরি লক্ষ্যবস্তুতে পৌঁছায়। এর ফলে তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকে—±০.১°C এর মধ্যে। এর ফলে তাপমাত্রার পরিবর্তন ফটোরেসিস্টের কার্যকারিতাকে প্রভাবিত করে না। এটি ক্লাস ১–১০০ ধরনের ক্লিনরুমে ব্যবহৃত হয়; আর ইন-সিটু মনিটরিংয়ের মাধ্যমে নিশ্চিত করা হয় যে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হচ্ছে না। আউটপুটের পুনরাবৃত্তিতা ০.৫% এর মধ্যে থাকে; আর তাপীয় স্থিতিশীলতা ৫,০০০+ ঘন্টা ধরে বজায় থাকে, আউটপুটে ৫% এর কম হ্রাস হয়।
লিথোগ্রাফিতে এর কার্যকারিতা কেন ভালো?
লিথোগ্রাফিতে এই স্থিতিশীলতার ফলে বেকিং প্রক্রিয়া আরও সঠিক হয়। CD নিয়ন্ত্রণ আরও ভালো হয়; আর পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন কমে যায়, কারণ প্রতিবারই বেকিং প্রক্রিয়া একই রকম হয়। ল্যাম্পটি দ্রুত নির্ধারিত তাপমাত্রায় পৌঁছায়; ফলে বেকিং সময় কমানো যায়, আর ফটোরেসিস্টের তাপীয় সীমা লঙ্ঘিত হয় না।
ওয়েফার পরিষ্কার ও শুকানোর ক্ষেত্রেও এর কার্যকারিতা ভালো।
নিয়ন্ত্রিত ও সমান তাপ প্রয়োগের ফলে পৃষ্ঠে কম ত্রুটি দেখা দেয়। আর শক্তি সাশ্রয় হয়, কারণ ল্যাম্পটি শুধুমাত্র লক্ষ্যবস্তুকেই উত্তপ্ত করে, চেম্বারের দেয়ালগুলোকে নয়।
কী বিষয়গুলো অবশ্যই মনে রাখতে হবে?
ইনস্টলেশনটি সঠিকভাবে করতে হবে—অপটিক্যাল অ্যালাইনমেন্ট নির্ভুল হওয়া দরকার। আউটপুটে কোনো ত্রুটি না হওয়ার জন্য বিশেষ পাওয়ার কন্ডিশনিং ব্যবহার করতে হবে। ল্যাম্পটি স্ট্যান্ডার্ড OEM ফিক্সচারগুলোর সাথে কাজ করে; কিন্তু থার্মাল ক্লিয়ারেন্স ও EMI শিল্ডিং বিষয়গুলো মাথায় রাখতে হবে। আর নির্ধারিত সময়ে ক্যালিব্রেশন করতে হবে—বিশেষ করে ল্যাম্প পরিবর্তনের পর। এতে স্থিতিশীলতা নির্ধারিত মানের মধ্যেই থাকে।