در فرآیند تولید، میدانیم که حتی تغییر دما در محدوده ۱ درجه سانتیگراد در هنگام فرآیند پخت رزست، میتواند باعث تغییر ابعاد مهم قطعات شود و منجر به از بین رفتن تعداد زیادی از ویفرها شود. ما لامپهای گرمایشی مادون قرمز خود را به گونهای طراحی کردهایم که این نوسانات را کاملاً از بین ببرند.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما از نور مادون قرمز با طول موج کوتاه و درونپوش کوارتزی استفاده میکنیم؛ به این ترتیب گرما به صورت مستقیم و سریع منتقل میشود و قابل کنترل است. در سراسر سطح ویفر، دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد ثابت میماند؛ این امر از ایجاد تغییرات دمایی جلوگیری کرده و باعث میشود فرآیندهای عکاسی و توسعه ویفرها به خوبی انجام شوند. این لامپها در اتاقهای پاکیزه کلاس ۱-۱۰۰ نصب میشوند، و نظارت لحظهای نیز اطمینان حاصل میکند که هیچ ذرهای تولید نمیشود. تکرارپذیری خروجی لامپ نیز در محدوده ۰.۵٪ بین دورههای مختلف باقی میماند؛ همچنین پایداری حرارتی آن بیش از ۵۰۰۰ ساعت است و کاهش خروجی کمتر از ۵٪ خواهد بود.
چرا این لامپها در فرآیند لیتوگرافی مفید هستند؟ در فرآیند لیتوگرافی، این پایداری باعث میشود فرآیندهای پخت ویفرها بهتر انجام شوند. کنترل دقیق ابعاد ویفرها نیز امکانپذیر میشود؛ همچنین نیاز به بازسازی ویفرها کاهش مییابد، زیرا فرآیند پخت در هر دوره یکسان است. این لامپها به سرعت به دمای مورد نظر میرسند؛ بنابراین میتوانید زمان پخت را کاهش دهید، بدون اینکه مقدار گرمای تولید شده از حد مجاز فراتر رود.
همین ویژگیها در فرآیندهای تمیزکردن و خشک کردن ویفرها نیز مفید هستند؛ گرمایش کنترلشده باعث کاهش نقصهای سطحی و مشکلات مربوط به لبههای ویفرها میشود. همچنین، از نظر انرژی نیز صرفهجویی میشود، زیرا لامپ تنها سطح ویفر را گرم میکند، نه دیوارههای اتاق.
جزئیات عملی که نباید نادیده گرفته شوند: نصب لامپ باید به درستی انجام شود؛ همچنین، نیاز به سیستمهای کنترل انرژی مناسب وجود دارد تا از نوسانات در خروجی لامپ جلوگیری شود. این لامپها میتوانند با تجهیزات استاندارد OEM نیز کار کنند، اما باید فاصلههای حرارتی و محافظت در برابر ارتعاشات الکترومغناطیسی را در نظر گرفت. همچنین، باید برنامههای کالیبراسیون منظمی داشته باشیم؛ بهویژه پس از تعویض لامپ، تا پایداری دمایی در محدوده مشخص شده باقی بماند.