Arrêtons de chauffer l’air : une meilleure façon de chauffer nos chariots de transport
Si nous voulons vraiment atteindre les objectifs de neutralité carbone dans les usines de semi-conducteurs, il faut cesser de gaspiller de l’énergie. Le principal responsable de ce gaspillage ? Les chauffages à convection traditionnels. Ils tentent de réchauffer tout l’espace de la salle propre, juste pour maintenir à température quelques composants. C’est comme si l’on chauffait toute la maison simplement pour garder une tasse de café au chaud.
C’est pourquoi nous avons opté pour des lampes infrarouges à ondes courtes, intégrées directement dans les chariots de transport. Au lieu de chauffer l’air, nous dirigeons la chaleur directement sur les wafer qui se trouvent là.
Pourquoi les lampes infrarouges fonctionnent bien
L’air est un mauvais conducteur de chaleur. En utilisant des lampes infrarouges, nous pouvons éviter cet intermédiaire. Nous utilisons des éléments en quartz-halogène qui atteignent la surface ciblée presque instantanément. Cela permet d’accélérer le processus de chauffage. Vos temps de préparation diminuent, et vous n’avez pas besoin d’utiliser autant d’énergie pour chaque lot de produits.
Maintenir la propreté
Les salles propres sont très exigeantes : on ne peut pas y placer n’importe quel type de chauffage, sinon on risque d’avoir des problèmes liés aux particules et aux émissions gazeuses. Nous utilisons des enveloppes en quartz de haute pureté pour garantir une propreté parfaite. De plus, nous revêtons les éléments de chauffage afin de réguler le spectre thermique. Ainsi, la chaleur passe bien à travers le chariot de transport, sans endommager son châssis. Enfin, ces lampes fonctionnent selon le principe du « chauffage sur demande » : elles s’allument uniquement lorsque le chariot se met en mouvement. Vous n’avez donc pas besoin de faire fonctionner le chauffage 24/7 ; vous n’utilisez de l’énergie que lorsque c’est vraiment nécessaire.
La partie difficile
Ce n’est pas si simple que ça. Les arrays infrarouges à haute densité génèrent beaucoup de chaleur localisée. Si vous placez trop de watts dans un espace restreint, vous risquez de déformer le chariot ou de déclencher des alertes dans la salle propre, à cause de l’expansion rapide de l’air. Il faut trouver l’équilibre idéal entre la puissance, le flux d’air et les capacités du chariot de transport. Mais une fois cet équilibre trouvé, on transforme un système consommateur d’énergie en un outil précis. C’est logique.