בחדרי הייצור, סטיות תרמיות במהלך תהליכי אפייה או ייבוש של הוופרים אינן רק בעיה – הן גורמות לשינוי בממדים החשובים של הוופרים, וכתוצאה מכך נפסלים הוופרים הללו. יצרנו נורה אינפרא-אדומה המבוססת על מוליבדן, כדי שניתן יהיה לשמור על הפרופיל התרמי הרצוי – פרופיל קבוע, שאינו תלוי בתנאי החדר.
מה חשוב מבחינה טכנית? המוליבדן מאפשר יציבות בטמפרטורות גבוהות, ובנוסף ישנה פליטה מינימלית של גזים בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100. כך, מספר החלקיקים נשאר קבוע. בשילוב עם גוף פליטה אינפרא-אדום מתואם, המערכת מאפשרת אחידות טמפרטורית ברמת הוופרים, בטווח של ±0.1°C. התגובה של המערכת מהירה, כך שניתן לשלוט בטמפרטורה בצורה מדויקת במהלך תהליכי האפייה. הביצועים של המערכת יציבים לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי בעוצמת האור של פחות מ-5%. ניתן להשתמש במערכת זו בתנורי סמיכות סטנדרטיים, עם אינטרפייסים מכאניים נקיים ואפשרות ליישור חוזר.
למה זה עובד בפועל? בתהליך ייבוש הוופרים, הפרופיל האינפרא-אדום מסייע להסרת הלחות מהפני השטח בצורה מהירה ואחידה, כך שאין בעיות של כתמים או לחות בקצוות הוופרים. בתהליך עיבוד הפוטורזיסט, החום היציב מאפשר אפייה אחידה, וכך ניתן לשמור על הממדים החשובים של הוופרים. התוצאה: פחות עבודות תיקון, פחות פסולת, וזמני עיבוד צפויים. גם צריכת האנרגיה יורדת – הנורה מגיעה לטמפרטורה הרצויה במהירות, ושומרת עליה ללא סטיות.
אלו הפרטים החשובים: ההתקנה דורשת יישור אופטי מדויק ופרופיל חשמלי נקי. עליות פתאומיות במתח ומראות לא מיושרות עלולים ליצור אזורים חמים. הנורה פולטת חום רב, לכן יש צורך במערכות הגנה ובאמצעי בטיחות שיתאימו לעיצוב הבטיחותי של הציוד. יש לתכנן את ניהול החום בצורה נכונה, כדי למנוע חימום של הרכיבים הסמוכים. אם ניתן לעשות זאת, התהליך יהיה יעיל יותר. הנורה פועלת כחלק קבוע וחוזר של המערכת.