MEMS वेफरों को सही तरीके से सुखाना – संदूषण की समस्या से बचना
जब MEMS सेंसरों को सुखाया जाता है, तो ऊष्मा ही एकमात्र कारक नहीं होता। वास्तविक चुनौती तो कणों से लड़ना ही है।
यदि आप क्लास 100 के क्लीनरूम में काम कर रहे हैं, तो आपको पता ही होगा कि थोड़ी सी भी गंदगी या हीटिंग एलिमेंट से निकलने वाले कण, पूरे वेफरों को बेकार बना सकते हैं। ऐसे में काम करना बहुत ही कठिन हो जाता है। इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज IR लैंपों का ही उपयोग करते हैं।
क्वार्ट्ज क्यों महत्वपूर्ण है?
सस्ता काँच या कम-गुणवत्ता वाला क्वार्ट्ज ऐसे तनावों को सहन नहीं कर पाता। कुछ थर्मल चक्रों के बाद ही ऐसे क्वार्ट्ज में सूक्ष्म कण निकलने लगते हैं… यह बहुत ही खराब स्थिति है।
हम उच्च-शुद्धता वाले फ्यूज्ड सिलिका का ही उपयोग करते हैं; क्योंकि यह अत्यधिक तापमान पर भी ठोस ही रहता है, एवं इससे कोई गैस नहीं निकलती। इसका फायदा यह है कि IR विकिरण सीधे ही वेफर की सतह पर मौजूद नमी को सुखा देता है… बिना पूरे चैंबर को ओवन में बदलने की आवश्यकता के।
डिज़ाइन संबंधी विवरण
हम इन लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं कि वे आपके उपकरणों में आसानी से फिट हो जाएँ। क्वार्ट्ज का आवरण अच्छी तरह से बंद होता है, ताकि फिलामेंट ऑक्सीकृत न हो… क्योंकि यहीं से ही संदूषण शुरू होता है। ट्यूब के अंदर के हैलोजन चक्रों को नियंत्रित करके हम फिलामेंट को सुरक्षित रखते हैं।
स्थापना संबंधी सलाह
ये लैंप, अधिकांश MEMS सुखाने वाले उपकरणों के लिए उपयुक्त हैं। हमने मानक कनेक्टरों का ही उपयोग किया है… इसलिए आपको वायरिंग संबंधी कोई समस्या नहीं होगी।
ध्यान रखें: उच्च-शुद्धता वाला क्वार्ट्ज बहुत ही भंगुर होता है… यह गर्मी को तो सहन कर सकता है, लेकिन झटकों को नहीं। स्थापना के दौरान होने वाला यांत्रिक झटका, सूक्ष्म दरारें पैदा कर सकता है… जिन्हें आप देख भी नहीं पाएँगे।
कृपया, बिना रूएँ वाले दस्ताने ही पहनें… क्योंकि त्वचा से निकलने वाले तेल, काँच पर गर्म बिंदु बना सकते हैं… और यही कारण है कि ट्यूब जल्दी ही खराब हो जाती है।