फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, वेफर की जाँच के दौरान आधा डिग्री का भी विचलन, अच्छे उत्पादों को बेकार बना सकता है… ऐसा तब होता है, जब आपको इसका पता ही नहीं चलता। जब थर्मल बजट सीमित होता है, एवं समय-सारणी में कोई गलती भी स्वीकार नहीं की जाती, तो अनुमान लगाना भी संभव नहीं होता।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने सेमीकंडक्टर वेफरों की जाँच हेतु ऐसे हीटर बनाए हैं, जिनमें शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग किया गया है… ऐसे हीटरों में कम थर्मल-मास वाले क्वार्ट्ज एवं सिरेमिक सामग्रियों का उपयोग किया गया है। इससे उत्पादन प्रक्रिया में उत्तरदायित्व की गति बढ़ जाती है… एवं वेफर के सक्रिय क्षेत्र में तापमान समान रहता है… ±0.1°C के भीतर। विभिन्न बैचों में तापमान की पुनरावृत्ति ±0.05°C ही रहती है… इससे उत्पादन प्रक्रिया में कोई विचलन नहीं होता।
यह प्लेटफॉर्म “क्लीनरूम क्लास 1–100” में ही काम करने के लिए डिज़ाइन किया गया है… सतहें इलेक्ट्रोपॉलिश्ड एवं सील्ड हैं… एवं पार्टिकल काउंटरों के द्वारा यह सुनिश्चित किया जाता है कि कोई भी कण उत्पन्न न हो। वोल्टेज में परिवर्तन होने पर भी ऊर्जा-आपूर्ति ±0.2% के भीतर ही रहती है… एवं हीटर 24/7 काम कर सकता है… बिना किसी बाधा के।
व्यवहार में इसका क्या महत्व है?
प्रोब के माध्यम से, स्थिर तापमान ही पैरामीटरों को सुसंगत रखने में मदद करता है… एवं संपर्क-संरेखण को भी सुनिश्चित करता है। लिथोग्राफी संबंधी प्रक्रियाओं में, फोटोरेजिस्ट की रासायनिक प्रक्रिया किसी भी विचलन को स्वीकार नहीं करती… ऐसे में यह हीटर ऐसी समस्याओं को दूर करता है… जिससे दोष कम हो जाते हैं, एवं पुनः-कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
इसे कार्यशील बनाने हेतु आवश्यक विवरण:
इसकी स्थापना हेतु उपकरण की आवश्यकताओं के अनुरूप ही विशेष आपूर्ति-व्यवस्था आवश्यक है… एवं प्रोब-चक का इंटरफेस भी हमारे थर्मल-स्टैक के अनुरूप ही होना चाहिए… तभी ही वांछित समानता प्राप्त होती है।
कैलिब्रेशन हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… एक बार यह संरेखित हो जाने के बाद, प्रक्रिया लगातार चलती रहती है।