पैकेजिंग लाइन पर, सब्सट्रेट का तापमान कोई “बैकग्राउंड सेटिंग” नहीं है; बल्कि यह तो उत्पादन प्रक्रिया को सुचारू रूप से चलाने हेतु आवश्यक एक महत्वपूर्ण पैरामीटर है। यदि हीटिंग लैंप में कोई त्रुटि हो जाए, तो इसका प्रभाव तुरंत ही दिखाई देता है – सॉफ्ट बेक के बाद फोटोरेजिस्ट की संरचना में परिवर्तन हो जाता है, हार्ड बेक के बाद लाइन-विड्थ में बदलाव हो जाता है, एवं ईटिंग प्रक्रिया में असमानताएँ देखने को मिलती हैं। हमने इस हीटिंग लैंप को ऐसे ही उद्देश्य हेतु बनाया है – ताकि उत्पादन प्रक्रिया के दौरान तापमान पर नियंत्रण बना रहे।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम NIR क्वार्ट्ज-हैलोजन एमिटरों का उपयोग करते हैं; ऐसे एमिटर तेज़ एवं दिशात्मक तापन प्रदान करते हैं, एवं सब्सट्रेट में तापमान में कम से कम बदलाव होता है। महत्वपूर्ण बात यह है कि तापमान समान रहे – गर्म होने वाले क्षेत्र में तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे। यह सिस्टम क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी काम कर सकता है। हम इन-सिटू मॉनिटरिंग के माध्यम से यह सुनिश्चित करते हैं कि कोई कण उत्पन्न न हो। आउटपुट हर समय ±0.3% के भीतर ही रहता है; हमने ऐसे उपकरणों को 5,000+ घंटों तक चलाया है, एवं उनका आउटपुट 5% से भी कम गिरा है। रैम्प एवं सोक प्रक्रियाओं को एक क्लोज्ड-लूप थर्मल कंट्रोलर द्वारा ही नियंत्रित किया जाता है।
वास्तविक पैकेजिंग कार्यों में इसकी उपयोगिता:
सब्सट्रेटों में तापमान संबंधी सीमाएँ बहुत ही सख्त होती हैं, एवं फोटोरेजिस्ट को गर्म करने हेतु उपयोग किए जाने वाले समय की अवधि भी सीमित होती है। जब सॉफ्ट बेक स्थिर रहता है, तो विलायकों का निष्कासन भी सुचारू रूप से होता है – इससे कम समस्याएँ होती हैं, एवं अवशिष्ट फिल्म भी कम रहती है। हार्ड बेक की प्रक्रिया में भी तापमान समान रहने से ईटिंग प्रक्रिया भी सुचारू रूप से होती है। इसका परिणाम यह है कि रीवर्क की आवश्यकता कम हो जाती है, अनप्लान्ड डाउनटाइम कम हो जाता है, एवं ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है।
कुछ व्यावहारिक बातें:
NIR हीटिंग में लैंप एवं सब्सट्रेट के बीच की दूरी निश्चित होनी आवश्यक है; अन्यथा तापमान में असमानता आ जाती है। थर्मल मैप को सब्सट्रेट एवं टूलों की ज्यामिति के अनुरूप समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है। यह लैंप मानक पैकेजिंग सब्सट्रेटों के साथ भी काम कर सकता है; लेकिन यदि आप इसे पुरानी लाइनों में इंटीग्रेट करना चाहते हैं, तो आपको एक छोटा मैकेनिकल एडाप्टर एवं एक स्पेशल पावर/कंट्रोलर इंटरफेस की आवश्यकता होगी।