ウェーハを清潔に保つために：なぜランプの設計が重要なのか
大量生産ラインでは、たった1つのランプが故障するだけで、一日中の作業が台無しになってしまいます。問題は単に停止時間だけではありません。石英管が壊れると、ただ暗くなるだけでなく、ガラスの破片や金属片がウェーハの上に散らばってしまいます。これは、処理しなければならない恐ろしい状況です。
そこで私たちは、デジタル式の赤外線制御装置やランプアセンブリを独自の方法で設計しました。二次的な汚染が起こる前にそれを防ぎたかったのです。
故障を未然に防ぐ
ほとんどのランプが故障するのは、ある一点で過度に熱くなったり、急激な電圧上昇が起きたりするからです。これを解決するために、私たちは温度を厳密に管理する閉ループ式のデジタルシステムを使用しています。熱ショックも、石英管への負荷もありません。
また、制御装置が異常な電流を検出した場合、即座に電力を切断します。これは簡単な対策ですが、フィラメントが管壁を貫通して溶けるのを防ぎます。
安全網
私たちは、単にガラスが耐えられるとだけは信頼していません。予備として物理的な保護装置も用意しています。これはまるで安全網のようなものです。もし石英管が壊れても、破片はウェーハから離れた上側に留まります。
また、高純度の石英を使用し、特別なコーティングを施すことで、熱が正しくウェーハに伝わり、ケースには伝わらないようにしています。ただし、このコーティングは少々デリケートです。取り付け時にランプを乱暴に扱うと、コーティングが剥がれてしまう可能性があります。**必ず弊社が用意した治具を使用してください。**そうすれば、偶発的な破損を避けることができます。
適切な設定を行う
配線部分も正確に設定する必要があります。端子での放電は、ランプを破壊する典型的な原因です。そのため、強化されたコネクタを使用しています。
もう一つ、冷却システムもチェックしてください。十分な空気の流れがあって初めて、シールドアセンブリから発生する熱を効果的に扱うことができます。空気の流れが悪いと、シールドがヒートシンクのように機能し、ウェーハの乾燥が均一に行われません。一定のCFMの流れを維持すれば、ウェーハが目標温度に達しても、ケースは冷たいままです。