クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もし、クラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、その苦労はご存知でしょう。たった一つのほこりの粒子が適切でない場所にあるだけで、作業中のウェハー全体が無駄になってしまいます。本当にストレスです。
問題は、ほとんどの加熱要素が実際には汚れているということです。安定した状態で動作しているはずの時に、ガスや微粒子が放出されてしまいます。だからこそ、高純度の石英製の赤外線ランプやテフロン絶縁処理された配線を使用するのです。これが最善の方法です。
高純度石英の利点
ランプの外殻には合成された高純度の石英を使用します。なぜかというと、金属イオンを漏らさず、高温になっても結晶化しないからです。
このランプは短波長の赤外線を放出します。これが秘密のポイントです。部品周辺の空気を温めることなく、瞬時に目標温度に到達できます。空気が静止したままなので、ほこりが舞い上がって基板に付着するという問題もありません。
なぜテフロンを使うのか
ほとんどの配線にはPVCやシリコンが使われていますが、高温環境下ではこれらの材料は溶融したり、ガスを放出したりします。これは良くありません。
私たちは代わりにテフロン（PTFE）を使用します。テフロンは高温に耐えられ、微細なプラスチック片を放出しません。また、化学的に不活性なので、真空環境やクリーンルーム内でも配線を行え、汚染の心配をする必要がありません。
注意すべき点
ただし、高密度の赤外線加熱は非常に速い反面、特定の場所に集中して強い熱が発生します。
そのため、取り付けブラケットには注意が必要です。ガスを放出しない素材を使用しましょう。また、冷却システムにも注意が必要です。ランプの近くが過度に高温になると、電気接続部が早期に故障する可能性があります。
ツールへの組み込み
これらのランプは、既存の半導体硬化や乾燥工程に簡単に組み込むことができます。石英製の外殻とテフロン製の配線を組み合わせることで、全体の加熱エリアを無菌状態に保つことができます。必要なだけのパワーを得られる上、微粒子による品質低下の心配もなくなります。