B2Bウェハ製造供給

300mmラインにおける温度ドリフトの影響 300mmラインでは、ソフトベーク中の0.5°Cのドリフトは注釈ではなく、歩留まりの漏れです。フォトレジストのプロファイルは引き締まり、CD予算は縮小し、炉のフロアには推測の余地がありません。私たちは、プロセスが必要とする場所で温度を保持するという現実の...