Waarom we goud gebruiken voor IR-opwarming
Wanneer je werkt in een schone ruimte met halfgeleiderwafern, is het verspillen van energie niet alleen een budgetprobleem – het is ook een ontwerpfout.
De meeste standaardreflectoren zijn prima, maar ze verspreiden infraroodstraling. Hierdoor ontstaan er irritante openingen in de warmtetoevoer. We hebben dit opgelost door over te stappen op goudcoatings.
Waarom goud? Omdat het infraroodgolflengten veel beter kan verwerken dan aluminium of gepolijst staal. In plaats van dat de behuizing van de heater de energie opneemt, gaat bijna elke watt precies waar hij hoort: rechtstreeks op de wafer.
De warmte precies goed regelen
Het komt allemaal neer op hoe we het licht richten. We combineren een kortegolf-Infraroodlamp met een goudcoated parabolische of elliptische reflector, zodat de stralingsflux wordt geconcentreerd in een gebied met hoge dichtheid.
Het resultaat? De opwarmtijd is korter. Het thermische profiel is nauwkeuriger.
Dit is belangrijk, want zo worden die willekeurige hete plekken voorkomen die siliciumdisks kunnen beschadigen of de chemische verdampingsprocessen kunnen verstoren. Het systeem werkt dan veel voorspelbaarder.
De nadelen (want er zijn altijd nadelen)
Je kunt deze componenten niet zomaar installeren en vergeten. Je moet goed opletten hoe ze passen in je systeem.
Bovendien is goud nogal gevoelig. Het heeft een hekel aan vuil. Eén vingerafdruk of een dun laagje stof op de reflector kan de efficiëntie verminderen en leiden tot ongelijke warmtetoevoer. Je moet dus strikt zich houden aan de regels voor het onderhoud van de schone ruimte.
En nog iets: omdat we zoveel warmte concentreren, zal ook het koelsysteem onder druk komen te staan. Als het koelsysteem niet goed genoeg is, kunnen de sensoren rondom beschadigd raken.
De voordelen
Het beste is dat je minder energie nodig hebt om de gewenste temperaturen te bereiken.
Het is een simpele oplossing: je krijgt meer output zonder dat je de voedingsbron of het hele systeem hoeft te vervangen. Je haalt meer rendement uit de energie die je al gebruikt.